[实用新型]一种监控系统与曝光机

说明书

本实用新型实施例提供了一种监控系统与曝光机，该监控系统包括：用于采集视频数据的一个或多个摄像头，一个或多个摄像头安装在曝光机的腔体中，腔体内设置有对显示器的玻璃基板进行曝光的光刻蚀设备；一个或多个摄像头采集视频数据的范围覆盖光刻蚀设备。曝光机外部的技术人员可通过该视频数据观察到曝光机内部是否具有技术人员，在曝光机内部具有技术人员的情况下可观察到曝光机内部技术人员的作业情况，以及，可观察到曝光机内部光刻蚀设备的作业情况。

技术领域

本实用新型涉及生产安全的技术领域，尤其涉及一种监控系统与曝光机。

背景技术

目前，对显示器(Flat Panel Display，FPD)进行光刻蚀的曝光机，设置有大型的腔体(chamber)，技术人员在曝光机的腔体内作业。

曝光机的腔体是密闭的性质，曝光机外部的技术人员无法观察到曝光机内部的作业情况，在作业出现故障时，容易导致曝光机内部的技术人员处于危险之中、并且容易导致产能下降。

实用新型内容

本实用新型实施例提出了一种监控系统与曝光机，以解决无法观察到曝光机内部的作业情况的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种监控系统，所述监控系统包括：

用于采集视频数据的一个或多个摄像头，一个或多个所述摄像头安装在曝光机的腔体中，所述腔体内设置有对显示器的玻璃基板进行曝光的光刻蚀设备；

一个或多个所述摄像头采集所述视频数据的范围覆盖所述光刻蚀设备。

可选地，一个或多个所述摄像头为红外摄像头。

可选地，所述光刻蚀设备包括用于对显示器的玻璃基板进行照射的曝光台，用于盛放所述玻璃基板的载物台，用于转移所述载物台上的所述玻璃基板的机械臂；

所述曝光台位于所述载物台的左侧，所述机械臂位于所述载物台的右侧；

至少一个所述摄像头采集所述视频数据的范围覆盖所述曝光台；

至少一个所述摄像头采集所述视频数据的范围覆盖所述载物台与所述机械臂。

可选地，若所述摄像头设置在所述腔体顶部的左上方，则所述摄像头采集所述视频数据的范围覆盖所述曝光台；

若所述摄像头设置在所述腔体顶部的左下方，则所述摄像头采集所述视频数据的范围覆盖所述曝光台。

可选地，若所述摄像头设置在所述腔体顶部的右上方，则所述摄像头采集所述视频数据的范围覆盖所述载物台与所述机械臂；

若所述摄像头设置在所述腔体顶部的右下方，则所述摄像头采集所述视频数据的范围覆盖所述载物台与所述机械臂。

可选地，所述腔体的侧壁设置有窗口；

所述窗口对接涂布显影设备，所述涂布显影设备用于在曝光前将光刻胶涂在所述玻璃基板的表面上，在曝光后将所述玻璃基板浸没于显影液中、去除所述光刻胶；

所述机械臂在所述载物台与所述涂布显影设备之间转移所述玻璃基板。

可选地，所述监控系统还包括网络视频服务器、交换机或集线器、网络存储器、管理服务器；

属于同一个所述曝光机的一个或多个所述摄像头通过同轴电缆连接同一个所述网络视频服务器；

多个所述网络视频服务器通过第一网络线缆连接所述交换机或所述集线器；

所述交换机或所述集线器通过第二网络线缆分别连接所述网络存储器、所述管理服务器。

可选地，所述监控系统还包括用于显示所述视频数据的第一监控终端；