[实用新型]改善吹风洁净度的光刻机系统

说明书

本实用新型公开了改善吹风洁净度的光刻机系统，包括装置箱，所述装置箱的正面设置用控制机构，所述装置箱的内底壁设置有工作台，所述工作台的上方设置有光刻镜头，所述装置箱的左侧表面分别固定安装有支撑板、烘干箱和喷淋箱，所述支撑板的上表面分别固定安装有气泵和过滤箱，所述支撑柱远离喷淋箱的一端固定安装有储水箱。该改善吹风洁净度的光刻机系统，通过设置风机、喷淋箱、储水箱、喷淋头、烘干箱、气泵和过滤箱，在对光刻机工作台和光刻镜头进行吹风清理时，能够首先对气流进行喷淋除尘，之后再进行烘干去潮，最后经过活性炭颗粒进行进一步清洁过滤，从而提升了吹风清洁时气流的洁净度，避免了对光刻镜头造成腐蚀或者磨损。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为改善吹风洁净度的光刻机系统。

背景技术

光刻机一般根据操作的简便性分为手动、半自动和全自动三种，手动指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴、Y轴和角度来完成对准，半自动指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐，自动指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

光刻机在清洁时主要是采用吹风系统对工作台和光刻镜头进行吹风除尘，但是在长时间进行吹风清洁时，由于吹出的空气中含有微小的颗粒或者腐蚀性气体，会对光刻镜头的表面造成腐蚀和磨损，进而影响光刻机的正常使用。

因此，我们需要改善吹风洁净度的光刻机系统。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供改善吹风洁净度的光刻机系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：改善吹风洁净度的光刻机系统，包括装置箱，所述装置箱的正面设置用控制机构，所述装置箱的内底壁设置有工作台，所述工作台的上方设置有光刻镜头，所述装置箱的左侧表面分别固定安装有支撑板、烘干箱和喷淋箱，所述支撑板的上表面分别固定安装有气泵和过滤箱，所述烘干箱的两侧内壁固定安装有电加热丝，所述喷淋箱的上表面固定安装有支撑柱，所述支撑柱远离喷淋箱的一端固定安装有储水箱，所述储水箱的侧面设置有注水口，所述储水箱的下表面固定安装有水泵，所述装置箱的左侧内壁固定安装有固定板，所述固定板的上表面固定安装有风机，所述装置箱的内底壁固定安装有安装板，所述安装板的右侧面固定安装有电动推杆，所述电动推杆的推送端固定安装有衔接板，所述衔接板远离电动推杆的一侧固定安装有T型喷气管，所述过滤箱的侧面固定安装有气管，所述气管远离过滤箱的一端延伸至装置箱的内部并固定连接有喷气软管，所述喷气软管远离气管的一端延伸至T型喷气管的内部，所述喷气软管呈螺旋状盘绕在电动推杆的表面。

优选的，所述电加热丝的数量为两个，两个所述电加热丝对称设置在烘干箱的两侧内壁，所述支撑柱的数量为四个，四个所述支撑柱呈矩形阵列设置在喷淋箱上表面的四角处。

优选的，所述水泵的进水端固定安装有进水管，所述进水管远离水泵的一端延伸至储水箱的内部并固定安装有过滤网，所述水泵的出水端固定安装有出水管，所述出水管远离水泵的一端延伸至喷淋箱的内部并固定安装有喷淋头。

优选的，所述风机的进风端固定安装有进风管，所述进风管远离风机的一端延伸至装置箱的上表面并固定安装有过滤保护罩，所述风机的出风端固定安装有出风管，所述出风管远离风机的一端延伸至喷淋箱的内部。

优选的，所述T型喷气管的表面固定安装有喷气头，所述喷气头的数量为两个，两个所述喷气头以T型喷气管侧面的中线为对称轴对称设置在T型喷气管的侧面。

优选的，所述喷淋箱的侧面分别开设有两侧开口，两个所述开口的内壁分别固定安装有衔接管和排水管，所述衔接管远离喷淋箱的一端延伸至烘干箱的内部，所述排水管的表面固定安装有排水阀门。

优选的，所述气泵的进气端延伸至烘干箱的内部，所述气泵的出气端延伸至过滤箱的内部，所述过滤箱的内底壁通过滑轨滑动连接有过滤网芯，所述过滤网芯的内壁设置有活性炭颗粒。