[实用新型]一种基于结构光照明的波前传感三维显微镜

权利要求书

1.一种基于结构光照明的波前传感三维显微镜，包括结构光准直光源(1)，其特征在于：所述结构光准直光源(1)一侧依次设有被测样品(2)与物镜(3)，所述物镜(3)远离所述结构光准直光源(1)的另一端依次设有筒镜(4)与波前传感器(5)。

2.根据权利要求1所述的基于结构光照明的波前传感三维显微镜，其特征在于：所述物镜(3)用于放大所述被测样品(2)，所述筒镜(4)配合所述物镜(3)用于改善所述物镜(3)像差，所述波前传感器(5)用于数据采集与分析。

3.根据权利要求1所述的基于结构光照明的波前传感三维显微镜，其特征在于：所述波前传感器(5)内分别设有光栅阵列(6)和感光元件(7)。

4.根据权利要求1所述的基于结构光照明的波前传感三维显微镜，其特征在于：所述结构光准直光源(1)用于产生不同模式的结构准直光。

5.根据权利要求3所述的基于结构光照明的波前传感三维显微镜，其特征在于：所述结构光准直光源(1)用于控单位或复合可控单位尺寸经光路调节后小于所述波前传感器(5)中所述光栅阵列(6)单元尺寸。

6.根据权利要求1所述的基于结构光照明的波前传感三维显微镜，其特征在于：不同模式的所述结构光准直光源(1)入射到所述波前传感器(5)后，用于产生不同的质心分布。

7.根据权利要求1所述的基于结构光照明的波前传感三维显微镜，其特征在于：所述结构光准直光源(1)为数字微镜阵列或空间光调制器。

8.根据权利要求1所述的基于结构光照明的波前传感三维显微镜，其特征在于：所述波前传感器(5)为哈特曼、夏克-哈特曼或光栅波前传感器。

9.根据权利要求1所述的基于结构光照明的波前传感三维显微镜，其特征在于：所述结构光准直光源(1)用于进行样品内部测量和表面测量，将所述被测样品(2)置于所述结构光准直光源(1)和所述物镜(3)之间，构成透射式三维显微镜，在不同模式结构光照明下，通过计算所述波前传感器(5)中质心变化，可得所述被测样品(2)内部测量信息，配合聚光镜和分光镜，可构成反射式三维显微镜，用于样品表面测量。