[实用新型]一种化学机械抛光用清洗干燥装置

说明书

本实用新型公开了一种化学机械抛光用清洗干燥装置，包括工作箱，包括工作箱内腔的底面固定安装有吸水泵，吸水泵的一侧固定套接有第一水管，第一水管的一端固定连接有蓄水箱，吸水泵的另一侧固定套接有第二水管，工作箱的顶面设有干燥机构，干燥机构的顶面固定连接有伸缩管，伸缩管的外壁设有控制阀，伸缩管的一端连通有第一热风管。上述方案中，所述吸水泵、蓄水箱和喷水头之间相互配合，产生了将清洗的水通过第一水管和第二水管输送至喷水头进行清洗的效果，通过设置调节阀和驱动圆盘，可以起到对工件材料全方面清洗的作用，所述漏斗、过滤装置和进水管之间相互配合，实现了对水资源的回收利用的效果，从而节约水资源，减少经济开销。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种化学机械抛光用清洗干燥装置。

背景技术

化学机械抛光技术的工作原理是首先工件表面材料与抛光液中的氧化剂、催化剂等发生化学反应，生成一层相对容易去除的软质层，然后在抛光液中的磨料和抛光垫的机械作用下去除软质层，使工件表面重新裸露出来，然后再进行化学反应，这样在化学作用过程和机械作用过程的交替进行中完成工件表面抛光。

目前这种化学机械抛光在工作中仍旧存在一些问题，如：缺少清洗装置，工件表面与抛光液进行化学反应时，如果不进行清洗，难以生成软质层，且不好去除，清洗完毕后，缺少干燥装置，增加了清洗的时间，影响生产效率。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种化学机械抛光用清洗干燥装置，以解决现有技术的清洗难度高、水资源浪费严重和自动干燥时间长的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种化学机械抛光用清洗干燥装置，包括工作箱，包括工作箱内腔的底面固定安装有吸水泵，所述吸水泵的一侧固定套接有第一水管，所述第一水管的一端固定连接有蓄水箱，所述吸水泵的另一侧固定套接有第二水管，所述工作箱的顶面设有干燥机构，所述干燥机构的顶面固定连接有伸缩管，所述伸缩管的外壁设有控制阀，所述伸缩管的一端连通有第一热风管，所述第一热风管的一端固定安装有吹风罩，所述工作台的顶面固定连接有支撑杆，所述支撑杆的一端固定连接有固定圆盘，所述固定圆盘的顶面活动安装有驱动圆盘，所述驱动圆盘的顶面设有工件材料。

所述干燥机构包括外壳体，所述外壳体内腔的底面固定安装有微型风扇，所述外壳体内腔的一侧固定安装有电热丝网，所述外壳体的内部设有隔板，所述隔板位于电热丝网的正上方，所述隔板的一侧固定安装有第二热风管，所述隔板的内部开设有圆孔，所述圆孔的半径与第二热风管的半径相等。

其中，所述伸缩管的一端与第二热风管的一端连通，所述吹风罩的形状为凹形。

其中，所述蓄水箱的顶面固定安装有进水管，所述进水管的顶部固定连接有漏斗，所述漏斗顶面的截面积大于固定圆盘的底面面积，所述进水管的内部设有过滤装置。

其中，所述第二水管的一端活动安装有喷水头，所述第二水管的外壁靠近喷水头处设有调节阀，所述第一水管与第二水管均为金属材质构件。

其中，所述驱动圆盘的顶面设有顶块，所述顶块的数量为两个，所述其中一个顶块的一侧固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的一端固定连接有另一顶块。

其中，所述驱动圆盘的顶面开设有长槽，所述顶块的底部设有滑块，所述滑块的外壁活动安装于长槽的内壁。

其中，所述工作箱的一侧固定安装有控制面板，所述水泵的输入端与控制面板的输出端电性连接。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

1、上述方案中，所述吸水泵、蓄水箱和喷水头之间相互配合，产生了将清洗的水通过第一水管和第二水管输送至喷水头进行清洗的效果，通过设置调节阀和驱动圆盘，可以起到对工件材料全方面清洗的作用，所述漏斗、过滤装置和进水管之间相互配合，实现了对水资源的回收利用的效果，从而节约水资源，减少经济开销。