[实用新型]具有精确行程的高精度运动平台

权利要求书

1.一种具有精确行程的高精度运动平台，其特征在于，包括：底座、设于所述底座上的直线输送组件、设于所述直线输送组件上的升降模组、以及设于所述升降模组上的输送台；

所述直线输送组件包括：设于所述底座上的电机、与所述电机连接的丝杆、套设于所述丝杆上的套管、设于所述电机旁侧的固定架、以及设于所述固定架上的拉绳位移传感器；所述套管内设有与所述丝杆匹配的内螺纹，所述电机驱动所述套管在所述丝杆上进行直线运动，所述套管上设有承载台，所述升降模组设于所述承载台上，所述承载台上设有拉杆，所述拉杆与所述拉绳位移传感器的拉绳连接，所述拉绳位移传感器与电机的控制器连接。

2.根据权利要求1所述的具有精确行程的高精度运动平台，其特征在于，所述底座上还设有龙门架，所述龙门架上设有直线电机，所述直线电机上设有滑板。

3.根据权利要求2所述的具有精确行程的高精度运动平台，其特征在于，所述底座上设有若干直线导轨，所述直线导轨位于所述丝杆的旁侧且与所述丝杆平行，所述直线导轨上设有滑块，所述套管与所述滑块固定连接。

4.根据权利要求2所述的具有精确行程的高精度运动平台，其特征在于，所述固定架上还设有位移显示器。

5.根据权利要求2所述的具有精确行程的高精度运动平台，其特征在于，所述输送台上设有若干真空孔，所述真空孔与真空发生器连接。