[实用新型]一种卡盘

权利要求书

1.一种卡盘，包括卡盘底板(11)和第一感应器(1)，其特征在于：所述卡盘底板(11)的左端设置有第一进气口(16)，且卡盘底板(11)的右端连接有清洁进气口(15)，所述第一感应器(1)设置于第一进气口(16)的内部，且第一感应器(1)的右端设置有感应柱(2)，所述感应柱(2)的上端设置有卡盘活塞(6)，且卡盘活塞(6)的外部设置有密封圈(9)，所述卡盘活塞(6)的内部设置有中心套(3)，且中心套(3)的内部设置有凹槽(14)，所述凹槽(14)的内部设置有ITS活塞(4)，且ITS活塞(4)的内部设置有ITS中轴(5)，所述ITS活塞(4)的下端连接有第二感应器(10)，所述ITS中轴(5)的内部设置有钢珠(8)，所述第二感应器(10)的下方设置有增压口(12)，且增压口(12)的左侧设置有第二进气口(17)，所述ITS活塞(4)的上端设置有第一弹簧(7)，所述卡盘活塞(6)的上端设置有第二弹簧(13)。

2.根据权利要求1所述的一种卡盘，其特征在于：所述感应柱(2)贯穿于卡盘活塞(6)的内部，且卡盘活塞(6)与第二弹簧(13)之间为弹性连接，并且卡盘活塞(6)关于卡盘底板(11)的中轴线相互对称，同时感应柱(2)与第一感应器(1)之间相互垂直。

3.根据权利要求1所述的一种卡盘，其特征在于：所述ITS活塞(4)与第一弹簧(7)之间为弹性连接，且ITS活塞(4)关于卡盘底板(11)的中轴线相互对称。

4.根据权利要求1所述的一种卡盘，其特征在于：所述中心套(3)设置为山字型结构，且中心套(3)与第二感应器(10)之间相互垂直。

5.根据权利要求1所述的一种卡盘，其特征在于：所述凹槽(14)与钢珠(8)的尺寸相吻合，且钢珠(8)设置有四个，并且凹槽(14)设置有四组。

6.根据权利要求1所述的一种卡盘，其特征在于：所述密封圈(9)与卡盘活塞(6)之间为粘合连接，且卡盘活塞(6)与卡盘底板(11)之间相互垂直。