[实用新型]硅棒装卸装置及硅棒加工设备

权利要求书

1.一种硅棒装卸装置，其特征在于，应用于硅棒加工设备，所述硅棒加工设备包括机座以及至少一硅棒加工装置，所述机座具有硅棒加工平台，所述硅棒装卸装置包括：

安装部，通过一安装架活动设于所述机座；

至少一夹持组件，其中，任一所述夹持组件包括：取料臂，吊装设于所述安装部；夹持件，设于所述取料臂底端，用于夹持待加工硅棒并跟随所述安装部移动以将待加工硅棒移送至所述硅棒加工平台的预定装载位置，其中，待加工硅棒在所述预定装载位置沿第一方向卧式置放。

2.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述安装部由驱动源驱动以相对所述安装架沿第二方向移动，其中，所述第一方向、第二方向与重垂线方向两两垂直。

3.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述安装部包括沿第一方向设置的平移机构，用于设置所述至少一取料臂以使至少一取料臂具有沿第一方向移动的自由度，其中，所述第一方向平行于硅棒轴线方向。

4.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述夹持件包括：

相对设置的第一夹持块与第二夹持块，其中，所述第一夹持块及第二夹持块具有夹持弧面或/和夹持平面；

夹持块驱动机构，用于驱动所述第一夹持块与第二夹持块作开合运动。

5.根据权利要求4所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述夹持块驱动机构包括：

第一齿条，联动于所述第一夹持块；

第二齿条，联动于所述第二夹持块；

夹紧气缸，设置于所述第一齿条或二齿条上，用推动所述第一齿条或第二齿条在齿条延伸方向移动；

传动齿轮，与所述第一齿条及第二齿条相啮合，用于在正向转时带动所述第一夹持块及第二夹持块相向运动以执行闭合作，在逆向转动时带动所述第一夹持块及第二夹持块相背运动以执行张开动作。

6.根据权利要求4所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述夹持块驱动机构包括：

第一齿条，联动于所述第一夹持块；

第二齿条，联动于所述第二夹持块；

驱动齿轮，连接于驱动电机的动力输出轴，并与所述第一齿条与所述第二齿条相啮合，用于在正向转动时带动所述第一夹持块及第二夹持块相向运动以执行闭合动作，在逆向转动时带动所述第一夹持块及第二夹持块相背运动以执行张开动作。

7.根据权利要求4所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述夹持块驱动机构包括：

开合齿轮，设于所述第一夹持块及第二夹持块上；

齿条，所述齿条的相对两端分别设有与所述第一夹持块和第二夹持块上的开合齿轮啮合对应的齿纹；

驱动源，连接于所述齿条，用于驱动所述齿条沿齿条方向进退运动。

8.根据权利要求4所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述夹持块驱动机构包括：

双向丝杆，两端与所述第一夹持块及第二夹持块螺纹连接；

驱动源，用于驱动所述丝杆转动以使得所述第一夹持块及第二夹持块相向运动或相背运动。

9.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述取料臂可升降地设置于所述安装部。

10.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，还包括传感器件，用于检测所述硅棒以确定所述夹持件将硅棒运送至所述预定装载位置。

11.根据权利要求10所述的硅棒装卸装置，其特征在于，所述传感器件为接触式传感器或测距传感器。

12.根据权利要求1所述的硅棒装卸装置，其特征在于，还包括晶线检测装置，用于检测所述硅棒上的晶线以确定预定装载位置处对硅棒的转动调整量。