[实用新型]一种利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵

权利要求书

1.一种利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵，其特征在于，所述真空泵包括冷凝器、消音器、底座、真空泵体以及马达，所述消音器、真空泵体设置在底座上，所述底座连接真空泵体，真空泵体与马达相连接,其中冷凝器与真空泵体相连接,进气口连接进气法兰，冷凝器两头分别设有冷凝器出水口和冷凝器进水口，冷凝器进气管与氮气入口相连接，冷凝器回用管与排气口相连接。

2.根据权利要求1所述的利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括蒸汽清洗阀、空气清洗阀，均设置在进气口止回阀下部。

3.根据权利要求2所述的利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括进气口、进气口止回阀以及排气口，进气口设置在进气口止回阀上部，排气口设置在真空泵体侧面，其中进气口和排气孔分别提供进气和排气。

4.根据权利要求3所述的利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括盲板，排污口以及放水口，盲板设置在消音器上部，排污口设置在消音器的下部，放水口设置在消音器上。

5.根据权利要求3或4所述的利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵，其特征在于，所述利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵还包括冷却气减压阀流量计，设置在真空泵体上。

6.根据权利要求5所述的利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵，其特征在于，所述真空泵体上设置有泵体循环冷却水入口和泵体循环水冷却水出口。

7.根据权利要求6所述的利用排气冷却泵腔的螺杆真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括冷凝器回用管，消音器循环冷却水出口，回用气体入口，回用气体调压阀，氮气调压阀，氮气流量计以及水流量计、冷凝器回用管设置在排气口和冷凝器上，消音器循环冷却水出口设置在消音器上，回用气体入口设置在冷凝器上。