[实用新型]一种集成电路生产加工用碎屑清理装置有效
申请号: | 202022362886.8 | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN213996828U | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 马艳;王晓莹;田梅安 | 申请(专利权)人: | 苏州港芯科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;B03C1/02;B03C1/30;B08B15/04 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港经济技术*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 生产 工用 碎屑 清理 装置 | ||
1.一种集成电路生产加工用碎屑清理装置,包括工作台(1)和加工座(101),所述工作台(1)表面固定连接加工座(101),其特征在于:所述工作台(1)上表面靠近端面位置固定连接立柱(2),所述立柱(2)一侧固定连接直线滑台(3),所述直线滑台(3)表面传动连接导向板(4),所述导向板(4)下表面分别安装毛刷(9)、条形电磁铁(10)和推板(11),所述工作台(1)另一端焊接底板(8),所述底板(8)表面设置有废料框(6),所述废料框(6)内部安装锥形分流罩(15)。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产加工用碎屑清理装置,其特征在于:所述底板(8)上表面焊接支架(7),所述支架(7)与直线滑台(3)端面位置固定连接,所述支架(7)位于废料框(6)一侧。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产加工用碎屑清理装置,其特征在于:所述条形电磁铁(10)固定连接在导向板(4)下表面中间位置,所述毛刷(9)和推板(11)分别安装在条形电磁铁(10)两侧。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路生产加工用碎屑清理装置,其特征在于:所述导向板(4)上表面固定连接线夹(5)。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路生产加工用碎屑清理装置,其特征在于:所述废料框(6)内壁对称安装凸台(12),所述凸台(12)上方通过弹簧座(13)可拆卸连接金属网板(14)。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路生产加工用碎屑清理装置,其特征在于:所述锥形分流罩(15)固定连接在金属网板(14)上表面中间位置,所述锥形分流罩(15)位于工作台(1)端面正下方位置。
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