[实用新型]石英坩埚制备用工作台有效

专利信息
申请号: 202022353983.0 申请日: 2020-10-21
公开(公告)号: CN213327311U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 何玉鹏;李卫;李常国;邓红;王建军 申请(专利权)人: 宁夏富乐德石英材料有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 曹广涛
地址: 750021 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 石英 坩埚 制备 用工
【说明书】:

本实用新型的石英坩埚制备用工作台包括操作台、吹气装置、排气装置,所述操作台的上端与吹气装置、排气装置固定连接,吹气装置和排气装置位于操作台的两侧,操作台的中间设有熔融室,以放置盛有石英坩埚的模具,所述吹气装置包括高纯水冷箱、驱动气缸、气体分散器,所述高纯水冷箱设有水冷夹层,以对吹气装置进行降温,驱动气缸、气体分散器位于高纯水冷箱中,驱动气缸的伸缩端与气体分散器铰接,气体分散器的两端架设在高纯水冷箱的两侧,且与高纯水冷箱转动连接,所述高纯水冷箱的前侧设有气体出口,气体分散器与高纯水冷箱的气体出口相邻,气体分散器上设有气体分散口,气体分散口与高纯水冷箱上的气体出口相正对。

技术领域

本实用新型涉及坩埚制备装置技术领域,尤其涉及一种石英坩埚制备用工作台。

背景技术

石英玻璃坩埚目前主要靠高温电弧法熔制,加热方式采用高温电弧加热,加热材料选用纯度较高的石墨电极加热。在石英坩埚熔制之前需要将高纯石英砂倒入模具内表面,并且通过一定的成型装置成型结束。然后将模具开入到熔融室内,启动电源,三根或者六根石墨电极之间相互放电,形成高温弧光加热石墨模具内表面的石英砂至融化状态,此时模具在一定转速下旋转,由于离心力的作用,保证模具内的呈融化状的石英砂不跌落。同时电极产生的高温弧光会将模具内表面的石英砂气化,气化后的石英蒸汽在模具上方的水冷板上方和电极上部未引弧的位置开始形成石英白灰,石英白灰粘结在水套的表面和电极的表面,达到一定厚度后会掉入到石英坩埚内表面,造成坩埚报废;同时石墨电极燃烧后杂质和灰分一部分会靠排风吸走,一部分也会掉入石英坩埚内表面,造成坩埚内表面产生黑点,并且降低石英坩埚内表面的纯度。

发明内容

有鉴于此,有必要提供一种石英坩埚制备用工作台,以降低坩埚制备过程中,坩埚内表面石英蒸汽灰和电极废灰的污染,提高弧光和功率的稳定性以及石英坩埚内表面气泡品质的一致性。

一种石英坩埚制备用工作台包括操作台、吹气装置、排气装置,所述操作台的上端与吹气装置、排气装置固定连接,吹气装置和排气装置位于操作台的两侧,操作台的中间设有熔融室,以放置盛有石英坩埚的模具,所述吹气装置包括高纯水冷箱、驱动气缸、气体分散器,所述高纯水冷箱设有水冷夹层,以对吹气装置进行降温,驱动气缸、气体分散器位于高纯水冷箱中,驱动气缸的伸缩端与气体分散器铰接,以通过驱动气缸伸缩带动气体分散器转动角度,气体分散器的两端架设在高纯水冷箱的两侧,且与高纯水冷箱转动连接,所述高纯水冷箱的前侧设有气体出口,气体分散器与高纯水冷箱的气体出口相邻,气体分散器上设有气体分散口,气体分散口与高纯水冷箱上的气体出口相正对,以向外界的石墨电极吹气。

优选的,所述气体分散器包括两个圆筒状的气体分散管、连接杆,两个气体分散管在竖直方向上平行设置,两个气体分散管的间隙为10-40毫米,气体分散管上设有第一连接支座,第一连接支座上设有转轴,连接杆的两端设有通孔,连接杆上的通孔与第一连接支座上的转轴套设连接且间隙配合,以在驱动气缸的带动下同步转动,气体分散管上还设有进气口,以将压缩空气通入气体分散管,气体分散口位于气体分散管上,以将压缩空气分散排出。

优选的,所述其中一个气体分散管上还设有第二连接支座,第二连接支座和驱动气缸的伸缩杆设有销孔,第二连接支座与驱动气缸的伸缩杆销接。

优选的,气体分散口呈长条状,进气口设置在与气体分散口背离的一侧。

优选的,所述气体分散器的两端设有转轴,相应的,在高纯水冷箱的侧壁上设有安装孔,气体分散器的转轴与高纯水冷箱的安装孔套设连接且间隙配合。

优选的,所述气体分散口的宽度为0.5-1毫米。

优选的,所述排气装置包括负压风机、排气盒体,所述负压风机与排气盒体连通,排气盒体与吹气装置相正对,且排气盒体与吹气装置相正对的一侧敞开,以将带有石英砂蒸汽的气体排出,所述排气盒体的侧壁还设有水冷夹层,以对排气盒体进行降温。

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