[实用新型]一种半导体加工清洗装置有效

专利信息
申请号: 202022352994.7 申请日: 2020-10-21
公开(公告)号: CN214321047U 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 占方耀 申请(专利权)人: 陕西启航测量设备有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 51308 代理人: 谷科均
地址: 710000 陕西省西安市雁*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 加工 清洗 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体加工清洗装置,包括底座,所述底座上固定连接有L型板,所述L型板的顶部固定连接有电动机,所述电动机的输出端固定连接有传动杆,所述传动杆上设有旋转机构,所述底座上设有两个收集箱,所述L型板的底部固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端固定连接有清洗机构,所述清洗机构上设有控制机构。本实用新型,结构合理,设有旋转机构和清洗机构能对不同半径大小的圆柱体进行清洗,适用范围广;设有控制机构能对半导体均匀清洗,清洗效果好,且能在停止加工时停止喷水,节约用水。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种半导体加工清洗装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料;半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。

现有的半导体在加工过程中需要对圆柱体的半导体进行清洗,而现有的半导体加工清洗装置不能对不同半径大小的圆柱体半导体进行清洗,适用范围窄;同时在清洗过程中,一般都是通过喷水管不停的喷水,但当停止加工时喷水管继续喷水从而造成水资源浪费;在清洗时容易清洗不均匀,效果不理想。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种半导体加工清洗装置,其设有旋转机构和清洗机构能对不同半径大小的圆柱体进行清洗,适用范围广;设有控制机构能对半导体均匀清洗,清洗效果好,且能在停止加工时停止喷水,节约用水。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种半导体加工清洗装置,包括底座,所述底座上固定连接有L型板,所述L型板的顶部固定连接有电动机,所述电动机的输出端固定连接有传动杆,所述传动杆上设有旋转机构,所述底座上设有两个收集箱,所述L型板的底部固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端固定连接有清洗机构,所述清洗机构上设有控制机构。

优选地,所述旋转机构包括与底座固定连接的支撑杆,所述支撑杆的顶部固定连接有下固定板,所述下固定板内转动连接有三个滚动辊,三个所述滚动辊呈两高一低设置,最低处的所述滚动辊的左端固定连接有旋转杆,所述旋转杆贯穿下固定板并与其转动连接,所述旋转杆的左端固定连接有从动轮,所述传动杆的左端固定连接有主动轮,所述主动轮与从动轮的外壁共同套设有传送带,所述传送带贯穿L型板设置。

优选地,所述清洗机构包括与L型板的顶部固定连接的水箱,所述水箱的底部固定连接有塑料出水管,所述塑料出水管贯穿L型板并与其固定连接,所述电动伸缩杆的底部固定连接有上固定板,所述上固定板内转动连接有出水辊,所述上固定板内转动连接有对称的两个清洗辊,两个所述清洗辊的外壁均设有多个毛刷,所述塑料出水管贯穿上固定板并与其固定连接,所述塑料出水管与出水辊固定连接,所述出水辊上固定连接有水箱。

优选地,所述控制机构包括设置在出水辊上的多个出水孔,多个所述出水孔的两侧均设有与出水辊固定连接的滑动杆,两个所述滑动杆上均滑动连接有滑块,两个所述滑块的相对端均固定连接有连接杆,两个所述连接杆均贯穿出水辊并与其滑动连接,两个所述连接杆共同固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆的底部固定连接有万向滚珠,所述伸缩杆的顶部固定连接有活塞,所述出水辊内固定连接有活塞限位圈,所述伸缩杆贯穿活塞限位圈并与其滑动连接。

优选地,两个所述收集箱分别位于下固定板的两端。

优选地,所述出水辊内设有通水通道,所述塑料出水管贯穿出水辊并延伸至通水通道内。

本实用新型与现有技术相比,其有益效果为:

1、启动电动伸缩杆,电动伸缩杆的输出端带动上固定板下移使出水辊与清洗辊与待清洗的圆柱体半导体相抵,通过滚动辊、出水辊与清洗辊可以对不同半径大小的圆柱体半导体进行夹持,适用范围广。

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