[实用新型]一种磁钢调节装置

说明书

本实用新型公开了一种磁钢调节装置，涉及磁控溅射靶材技术领域。磁钢调节装置包括支架、驱动端、水电端、靶材模具、磁钢、第一驱动装置、第二驱动装置以及测量模组，测量模组包括两标尺、高斯计以及滑块；磁钢设置在靶材模具内，靶材模具上开设有多个调节孔；驱动端以及水电端均设置在支架上，靶材模具的两端分别设置在驱动端以及水电端上；两标尺间隔设置在支架上，两标尺均平行设置在靶材模具的下方；滑块横跨在两标尺上，且可在两标尺上滑动，高斯计设置在滑块上；第一驱动装置与靶材模具连接，用于驱动靶材模具旋转；第二驱动装置与滑块连接，用于驱动滑块移动。磁钢调节装置能够模拟磁钢正常工作下的工况，从而提高了磁钢调节的准确性。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，尤其涉及一种磁钢调节装置。

背景技术

镀膜玻璃生产线广泛使用磁控溅射旋转靶，旋转靶内部的磁钢在长时间使用后，会由于腐蚀等原因而使磁场强度发生变化，导致整根旋转靶的磁场强度的横向均匀性变差，进而会影响到旋转靶的单靶均匀性和镀膜产品的均匀性。因此需要对旋转靶的磁钢进行调节维护。

现有的调节方式是将磁钢固定平放于架子上，磁场朝上，然后进行磁场测量并记录，再根据磁场强度的值对磁钢的对应的调节点位进行调节。采用这种方法对磁钢进行磁场调节后再安装至旋转靶内，但是在使用过程往往发现均匀性没有改善。

这种方法的缺陷是无法模拟旋转靶的正常使用状态，磁钢是安装在旋转靶内部的，表面是靶材，而且工作时靶材是旋转的，靶材和磁钢重量的影响、靶材的旋转都会对磁场强度的产生影响，因此这种方法测量的磁场强度不是准确的，影响到后面的调节工作。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题是如何提高磁钢磁场强度测量的准确性。

为了解决上述问题，本实用新型实施例提出一种磁钢调节装置，所述磁钢调节装置包括支架、驱动端、水电端、靶材模具、磁钢、第一驱动装置、第二驱动装置以及测量模组，所述测量模组包括两标尺、高斯计以及滑块；所述磁钢设置在所述靶材模具内，所述靶材模具上开设有多个调节孔，所述调节孔的位置与所述磁钢的调节点的位置对应；所述驱动端以及水电端均设置在所述支架上，所述靶材模具的两端分别设置在所述驱动端以及水电端上；两标尺间隔设置在所述支架上，两标尺均平行设置在所述靶材模具的下方；所述滑块横跨在两标尺上，且可在两标尺上滑动，所述高斯计设置在滑块上；所述第一驱动装置与所述靶材模具连接，用于驱动所述靶材模具旋转；所述第二驱动装置与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。

其进一步的技术方案为，所述磁钢调节装置还包括上位机，所述高斯计与上位机连接。

其进一步的技术方案为，所述水电端可在所述支架上移动，以调整水电端与驱动端的距离，从而适配不同规格的磁钢。

其进一步的技术方案为，所述调节孔等间距设置。

其进一步的技术方案为，所述调节孔的数量与磁钢的调节点的数量相同。

其进一步的技术方案为，所述标尺上设置有刻度。

其进一步的技术方案为，所述滑块包括主体部以及与所述主体部连接的支撑脚。

其进一步的技术方案为，所述主体部为圆弧形，所述主体部的中心设有用于安装高斯计的安装孔。

其进一步的技术方案为，所述第一驱动装置包括第一电机以及转轴，所述第一电机通过转轴与所述靶材模具连接。

其进一步的技术方案为，所述第二驱动装置包括第二电机以及传送皮带，所述传送皮带与滑块的支撑脚连接；第二电机与传送皮带连接，驱动传送皮带运动，进而带动滑块滑动。

与现有技术相比，本实用新型实施例所能达到的技术效果包括：