[实用新型]一种硅片上料装置

说明书

本实用新型公开一种硅片上料装置，包括：基座；多块挡板，挡板安装在基座上，且挡板围绕形成上端开口的装配区；两条滑行槽，滑行槽分别设置在装配区相对的两侧面上；滑行单元，滑行单元安装在基座上，且滑行单元与滑行槽相配合；驱动单元，驱动单元安装在所述装配区内，且驱动单元与滑行单元连接带动滑行单元沿着滑行槽来回运动。本实用新型解决了现有技术中硅片加工效率不高的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工生产技术领域，尤其涉及一种硅片上料装置。

背景技术

硅片在加工前，需要对其进行电性能检测，传统方式是通过人工将一片硅片进行摆放，然后通过设备对硅片进行检测，检测完毕后，设备提醒报警方可再摆放另一片硅片，再人工将硅片取走，这样时间花费较多,工作效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片上料装置，解决了现有技术中硅片加工效率不高的技术问题。

本申请实施例公开了一种硅片上料装置，包括：

基座；

多块挡板，所述挡板安装在所述基座上，且挡板围绕形成上端开口的装配区；

两条滑行槽，所述滑行槽分别设置在所述装配区相对的两侧面上；

滑行单元，所述滑行单元安装在所述基座上，且滑行单元与所述滑行槽相配合；

驱动单元，所述驱动单元安装在所述装配区内，且驱动单元与所述滑行单元连接带动滑行单元沿着滑行槽来回运动。

本申请实施例通过驱动单元带动滑行单元来回运动，以此同时完成上料和放料动作，提高工作效率。

在上述技术方案的基础上，本申请实施例还可以做如下改进：

进一步地，所述滑行单元包括：

支撑板，所述支撑板两侧分别设置与所述滑行槽内部；

两个U型取料架，所述U型取料架分别安装在支撑板相对的两侧，采用本步的有益效果是通过U型取料架能够完成上料、放料动作。

进一步地，所述驱动单元包括：

驱动电机，所述驱动电机安装在所述支撑板下方；

主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述驱动电机的输出端；

两根齿条，所述齿条间隔安装在所述基座上；

从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述支撑板下方，且从动齿轮与所述主动齿轮啮合；

传动轴，所述传动轴穿设在所述从动齿轮内部；

两个传动齿轮，所述传动齿轮分别安装在所述传动轴的两端，且传动齿轮与所述齿条啮合，采用本步的有益效果是通过驱动电机提供动力，带动滑行单元来回运动。

进一步地，所述齿条与所述滑行槽相互平行。

进一步地，还包括两个盛料单元，所述盛料单元位于所述装配区内部，且盛料单元安装在所述基座两端。

进一步地，所述盛料单元包括：

伸缩液压缸，所述伸缩液压缸安装在基座内部，且伸缩液压缸的活塞杆伸出所述基座表面；

升降板，所述升降板安装在所述伸缩液压缸的输出端；

料架，所述料架安装在所述升降板上，采用本步的有益效果一个盛料单元作为未加工的硅片放置用，另一个作为加工完成后的硅片放置用。

本申请实施例中提供的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：