[实用新型]一种ITO炉炉顶结构

说明书

本实用新型公开了一种ITO炉炉顶结构，包括第一侧墙、第二侧墙、第一挡火棉毯、第二挡火棉毯、高温棉板、高温挡火板、陶瓷杆件、第一吊片、第二吊片、钩件以及钢框架，第一侧墙和第二侧墙支撑的炉顶结构从上到下依次固定设有第一挡火棉毯和第二挡火棉毯，第二挡火棉毯的下方设有多组高温棉板，高温棉板内陶瓷杆件两端设有第一吊片和第二吊片，钩件吊住第一吊片和第二吊片固定于钢框架上。本实用新型通过该炉顶结构，此种炉顶结构形式较国、内外压缩棉组块结构，烧结产品密度高且使用寿命长，不需要像压缩棉组块结构那样每炉塞补收缩缝。

技术领域

本实用新型涉及ITO炉技术领域，具体为一种ITO炉炉顶结构。

背景技术

ITO炉（氧化铟锡靶材炉）是一款用于“靶材”烧制的富氧升降窑炉设备，在大气与氧气气氛下将“靶材”加热到1600℃，随后保温、冷却。

ITO的氧化铟锡在平板上具有很好的导电性和透明性，它还可切断对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线，是平板显示器制造的重要原料。ITO靶材不仅用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管，还用于太阳能电池和抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀膜等，在全球拥有广泛的市场。

ITO靶材烧结复杂得多，人们把氧化铟和氧化锡粉末按严格的比例混合后，经过一系列生产工艺加工成板或圆筒形状，再经过1600℃高温气氛烧结，形成黑灰色的陶瓷半导体。通常靶材尺寸越大，溅射到平板上的拼缝就越少，价值也越高。

但就在尺寸的问题上，国内ITO靶材企业一直鲜有突破，而后端的平板显示制造企业也要仰人鼻息。

烧结大尺寸ITO靶材，需要有大型的烧结炉。国外可以做宽1200毫米、长近3000毫米的单块靶材，国内只能制造不超过800毫米宽的。在1600℃的烧结炉中，靶材烧结周期需要6至7天。高温气氛烧结需要高浓度氧气参与，这项工艺也不易控制。长时间烧，很容易导致产品不均匀，成品率低。目前，也有部分仿制的设备，但耐火材料不过关，难耐烧结工艺所需的烈火考验，烧结炉总体质量差强人意，同时一部分挥发份会透过炉顶裂缝溢出并燃烧，加剧了炉子的破损，降低炉子的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种ITO炉炉顶结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种ITO炉炉顶结构，包括第一侧墙、第二侧墙、第一挡火棉毯、第二挡火棉毯、高温棉板、高温挡火板、陶瓷杆件、第一吊片、第二吊片、钩件以及钢框架，所述第一侧墙和第二侧墙支撑的炉顶结构从上到下依次固定设有第一挡火棉毯和第二挡火棉毯，所述第二挡火棉毯的下方设有多组高温棉板，所述高温棉板依次等间距的设于所述第一侧墙和第二侧墙之间，所述高温棉板两两之间设有高温挡火板，所述高温棉板内穿设有陶瓷杆件，所述高温棉板内陶瓷杆件两端设有第一吊片和第二吊片，所述高温棉板上方设有钢框架，所述钩件吊住第一吊片和第二吊片固定于所述钢框架上。

优选的，所述第一挡火棉毯的温度等级低于第二挡火棉毯的温度等级。

优选的，所述高温棉板的数量≥5组。

优选的，所述高温挡火板的数量≥4组。

优选的，所述高温棉板的四周内穿插有加热棒。

优选的，所述钢框架两端设有垂直的侧框架，所述侧框架固定于第一侧墙和第二侧墙的外表面。

优选的，所述第一吊片、第二吊片和陶瓷杆件均由耐高温材质制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：