[实用新型]一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管

说明书

本实用新型公开了一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管，包括安装座、石英管、高温玻璃布、卡箍和弧形凸起卡条，所述安装座之间插设有石英管，所述石英管底部至顶部外围缠绕布设有高温玻璃布，所述安装座端部两侧分别卡设有卡箍，所述卡箍底部卡盖于高温玻璃布端部接头上。通过高温玻璃布的使用，可有效降低真空离子发生器工作瞬时启动的高温对石英管的伤害，能够避免石英管爆裂，增长其使用寿命，减少机台维护频率；整体石英管缠绕高温玻璃布后，高温玻璃布使用寿命增长，且对使用机制无影响，具有较高的实用性。

技术领域

本实用新型涉及石英管技术领域，特别涉及一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管。

背景技术

目前在光伏电池片生产领域给已完成扩散工艺的电池片镀上一层氮化硅膜，以保护电池片避免脏污，保护PN结；那么镀膜工艺分为管式镀膜和板式镀膜，其中平板式镀膜设备采用的是真空离子发生器，发出的离子在真空石英管传播，穿出石英管壁，飞向靶片，飞向靶片的过程中将氮化硅的特种气体分子吸引并带到靶片上，形成一层20微米的氮化硅膜。

使用工艺温度200度左右，瞬时高温400度，在石英管的使用温度范围内；但石英管含有的杂质点，瞬时启动高温时成为等离子体能力积聚点，局部高温和应力而爆裂；造成使用寿命短，维护周期过短，机台停机维护频繁。为此，我们提出一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管，包括安装座、石英管、高温玻璃布、卡箍和弧形凸起卡条，所述安装座之间插设有石英管，所述石英管底部至顶部外围缠绕布设有高温玻璃布，所述安装座端部两侧分别卡设有卡箍，所述卡箍底部卡盖于高温玻璃布端部接头上。

进一步地，所述安装座底部外围开设有卡槽，所述卡箍内壁设有与卡槽对应位置的弧形凸起卡条。

进一步地，所述卡箍外侧端部均焊设有安装片，所述安装座两侧卡箍的安装片之间通过螺栓杆安装连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：将高温玻璃布由石英管底部缠绕至石英管顶部，并通过卡箍对缠绕于石英管顶部和底部的高温玻璃布两端接头进行卡箍固定，从而有有效避免高温玻璃布松动脱落，且卡箍卡设时，将卡箍内部的弧形凸起卡条卡设于安装座的卡槽内，随后通过螺栓杆将安装座两侧卡箍的安装片之间进行安装连接，实现对卡箍的固定，通过高温玻璃布的使用，可有效降低真空离子发生器工作瞬时启动的高温对石英管的伤害，能够避免石英管爆裂，增长其使用寿命，减少机台维护频率；整体石英管缠绕高温玻璃布后，高温玻璃布使用寿命增长，且对使用机制无影响，具有较高的实用性。

附图说明

图1为本实用新型一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管的主视结构示意图。

图2为本实用新型一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管的石英管主视结构示意图。

图3为本实用新型一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管的安装座结构示意图。

图4为本实用新型一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管的卡箍拆分结构示意图。

图5为本实用新型一种用于离子镀膜的高温玻璃布缠绕的石英管的卡箍俯视结构示意图。

图中：1、安装座；2、石英管；3、高温玻璃布；4、卡箍；5、卡槽；6、弧形凸起卡条；7、安装片；8、螺栓杆。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。