[实用新型]一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构有效
申请号: | 202022302515.0 | 申请日: | 2020-10-16 |
公开(公告)号: | CN213895989U | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 刘宸佳;刘志成 | 申请(专利权)人: | 江阴市中兴光电实业有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54 |
代理公司: | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人: | 孙燕波 |
地址: | 214442 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光控 系统 镀膜 膜片 公转 结构 | ||
1.一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:包括固定筒和固定于镀膜机顶部的环形底盘,所述环形底盘上设置罩体,所述固定筒内穿设中空式定轴,所述固定筒和定轴穿设罩体,且穿过所述环形底盘伸入镀膜机真空膜腔;所述定轴内腔设有内转筒,所述内转筒能够在定轴内腔转动;所述内转筒外圆周上设有比较片加热单元,所述定轴底端设有比较片单元,所述比较片加热单元设于比较片单元上方,对比较片单元进行加热;所述内转筒内腔穿设晶控探头。
2.根据权利要求1所述的一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:所述比较片单元包括比较片和比较片托座,所述比较片托座和比较片分别套于内转筒上,且所述比较片设于比较片托座上,所述比较片托座底部开设透光孔,所述比较片上方设有透光板,所述透光板与透光孔相对应。
3.根据权利要求2所述的一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:所述比较片上环向均匀间隔设有60位。
4.根据权利要求1所述的一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:所述比较片加热单元包括比较片加热盘,所述比较片加热盘设于内转筒上,所述定轴内腔穿设热电偶固定柱,所述热电偶固定于热电偶固定柱上,所述热电偶对定轴内部温度进行监测。
5.根据权利要求1所述的一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:所述内转筒顶部设置减速齿轮,所述减速齿轮与驱动齿轮相啮合,受伺服电机驱动所述驱动齿轮转动,带动减速齿轮转动,进而带动内转筒转动。
6.根据权利要求5所述的一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:所述伺服电机上设有绝对值编码器。
7.根据权利要求1所述的一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:所述定轴顶部设有接口法兰,且所述接口法兰与光纤接口法兰相匹配,光纤经所述接口法兰通入定轴内腔。
8.根据权利要求1所述的一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:所述定轴上开设敞口,且所述敞口设于固定筒下方,便于固定光纤。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴市中兴光电实业有限公司,未经江阴市中兴光电实业有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022302515.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类