[实用新型]一种线宽线距测试仪有效
| 申请号: | 202022296749.9 | 申请日: | 2020-10-15 |
| 公开(公告)号: | CN212963209U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
| 发明(设计)人: | 乔晓丹;洪哲;徐兆存;阙琦琦;林紹瑜;王建安;刘伟;张云飞;何君 | 申请(专利权)人: | 江苏大摩半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/14;G01B11/08;G01B11/00 |
| 代理公司: | 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 | 代理人: | 刘文艳 |
| 地址: | 212000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 线宽线距 测试仪 | ||
1.一种线宽线距测试仪,包括线宽测量仪(1),其特征在于:所述线宽测量仪(1)的前端面设置有前盖(2),所述前盖(2)的下方设置有测量台面(3),所述前盖(2)的后方设置有矩形仓(4),所述矩形仓(4)的两侧面均固定安装有两个条形滑槽(7),所述条形滑槽(7)的内部卡有滑杆(6),所述滑杆(6)的前端面设置有激光机头(5),所述激光机头(5)的后端面设置有两个卡板(8),所述卡板(8)的一端固定安装有固定板(14),所述固定板(14)的上端面设置有压杆(13),所述压杆(13)的一端固定安装有拨杆(10),所述激光机头(5)的侧面设置有两个矩形孔(11)。
2.根据权利要求1所述的一种线宽线距测试仪,其特征在于:所述卡板(8)与固定板(14)之间固定安装有套管,所述套管的内部设置有固定轴B(16),所述固定轴B(16)的外表面固定安装有复位弹簧(15)。
3.根据权利要求1所述的一种线宽线距测试仪,其特征在于:所述拨杆(10)与压杆(13)之间固定安装有固定环,所述固定环的中间卡有固定轴A(12)。
4.根据权利要求1所述的一种线宽线距测试仪,其特征在于:所述激光机头(5)后端面位于卡板(8)下方的位置固定安装有硅胶垫(9)。
5.根据权利要求1所述的一种线宽线距测试仪,其特征在于:所述卡板(8)的内壁与滑杆(6)的外表面贴合,所述滑杆(6)的两端卡在条形滑槽(7)的内部。
6.根据权利要求2所述的一种线宽线距测试仪,其特征在于:所述固定轴B(16)的两端固定在激光机头(5)的内部,所述复位弹簧(15)的一端固定在激光机头(5)的内壁上。
7.根据权利要求3所述的一种线宽线距测试仪,其特征在于:所述固定轴A(12)的两端固定在激光机头(5)的内部。
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