[实用新型]一种大口径光伏镀膜石英炉管有效
| 申请号: | 202022284409.4 | 申请日: | 2020-10-14 |
| 公开(公告)号: | CN213596396U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
| 发明(设计)人: | 英浩 | 申请(专利权)人: | 连云港保康石英制品有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 222313 江苏省连云港市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 口径 镀膜 石英 炉管 | ||
本实用新型公开了一种大口径光伏镀膜石英炉管,包括大口径石英管、防护套和加强筋,所述大口径石英管外侧两端套设有防护套,所述防护套外侧开设有齿槽,所述大口径石英管外表面开设有菱形凹槽,所述大口径石英管外侧胶合有保护膜,所述保护膜外侧设置有加强筋。本实用新型采用加长、大口径设计,方便放置较大晶片,同时整体强度高,防护性能好,适合被广泛推广和使用。
技术领域
本实用新型涉及石英炉管技术领域,特别涉及一种大口径光伏镀膜石英炉管。
背景技术
目前光伏产业仍然以晶硅太阳能电池为主,太阳能电池制备过程中需要采用pecvd工艺对硅片表面进行处理,行业内pecvd镀膜有管式镀膜和板式镀膜,采用管式镀膜法镀膜时,需要使用到石英管,随着晶片得尺寸扩大,炉体需要扩大,对应得石英管也需要扩大,现有的石英管口径较小,同时整体防护性较低,为此,我们提出一种大口径光伏镀膜石英炉管。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种大口径光伏镀膜石英炉管,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种大口径光伏镀膜石英炉管,包括大口径石英管、防护套和加强筋,所述大口径石英管外侧两端套设有防护套,所述防护套外侧开设有齿槽,所述大口径石英管外表面开设有菱形凹槽,所述大口径石英管外侧胶合有保护膜,所述保护膜外侧设置有加强筋。
进一步地,所述大口径石英管和防护套之间胶合有防滑橡环。
进一步地,所述加强筋和菱形凹槽的数量为多个。
进一步地,所述保护膜和加强筋均为玻璃微珠材料制成。
进一步地,所述大口径石英管内部两端热熔连接有内管口环。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
1.通过设置大口径石英管、防护套和内管口环,大口径石英管外侧两端防护套,方便设置对大口径石英管进行固定,大口径石英管和防护套之间的防滑橡环,使防护套可以牢牢套在其外侧,且可以牢牢带动大口径石英管转动,防护套外侧的齿槽使设备可以带动大口径石英管转动,内管口环从大口径石英管内部两端提高大口径石英管管口的强度,使其大口径石英管在安装使不易损坏。
2.通过设置菱形凹槽、保护膜和加强筋,大口径石英管外表面的多个菱形凹槽,可以增强大口径石英管对光的吸收,大口径石英管外侧的保护膜,可以防止大口径石英管损坏时破损,避免碎渣落至炉体内,多个加强筋可以提高大口径石英管的强度,使大口径石英管不易损坏,加强筋和保护膜均由玻璃微粒材料制成,不会影响光的照射。
附图说明
图1为本实用新型一种大口径光伏镀膜石英炉管的整体结构示意图。
图2为本实用新型一种大口径光伏镀膜石英炉管的侧视图。
图3为本实用新型一种大口径光伏镀膜石英炉管的内管口环结构示意图。
图中:1、大口径石英管;2、防护套;3、加强筋;4、齿槽;5、保护膜;6、内管口环;7、菱形凹槽;8、防滑橡环。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
如图1-3所示,一种大口径光伏镀膜石英炉管,包括大口径石英管1、防护套2和加强筋3,所述大口径石英管1外侧两端套设有防护套2,所述防护套2外侧开设有齿槽4,所述大口径石英管1外表面开设有菱形凹槽7,所述大口径石英管1外侧胶合有保护膜5,所述保护膜5外侧设置有加强筋3。
其中,所述大口径石英管1和防护套2之间胶合有防滑橡环8。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





