[实用新型]一种具有调节功能的刮刀装置

说明书

本实用新型提供了一种具有调节功能的刮刀装置，包括基板、固定于基板上的气缸，所述气缸的活塞杆向下穿过所述基板与位于所述基板下方的刮刀架相连，所述刮刀架上装有刮刀，其特征在于：所述气缸为双作用气缸，所述气缸在上的无杆腔与下压气路相连，所述气缸在下的有杆腔与上提气路相连。使用时，上提气路与下压气路同时往气缸的有杆腔与无杆腔内通气，通过调节有杆腔与无杆腔的气压差来控制活塞杆的动作。通过两股较大的气压压力作用，可以一定程度上减小气缸内部的阻力影响，使活塞杆的运行过程更为柔和，实现对下降速度与下压力的精准控制。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种具有调节功能的刮刀装置。

背景技术

半导体制程中，有一种需要在产品上印胶的工艺，在该工艺的过程中，需要对印胶的压力以及速度柔和性上有比较苛刻的要求，速度不能过快，压力不能太高，但是为了保证作业效率和产量，也不能无法以很慢的速度进行作业，如何调节到一个柔和的速度，且压力控制较精准的调节控制方式，一直以来在该工艺上是一个比较困难的点。目前有用到的方式，主要是两种方式，一是气缸通过排气的方式，进行速度的控制，最常见的是通过控制气缸内部气体排气的速度达到气缸杆的运动速度的控制，为了实现压力的控制，需要进行调压阀的配合，但是往往配上调压阀后，由于刮胶杆自身的重力原因，几乎无法调整到速度柔和且下压压力可控高精度的控制。另一种方式是通过电机的扭矩设置，通过电机速度的控制进行速率的提升，在作业阶段则通过扭矩模式进行印胶作业，该方式成本较大，且控制系统较为复杂，在调试过程中具有很大的风险性，电机的不可控性，往往会造成产品的过压损坏，因此这种方式是一种不太常见且实行性较低的一种方式。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种新型的具有调节功能的刮刀装置，能够精准控制下落速度与下落压力。

本实用新型通过如下方式解决该技术问题：

一种具有调节功能的刮刀装置，包括基板、固定于基板上的气缸，所述气缸的活塞杆向下穿过所述基板与位于所述基板下方的刮刀架相连，所述刮刀架上装有刮刀，其特征在于：所述气缸为双作用气缸，所述气缸在上的无杆腔与下压气路相连，所述气缸在下的有杆腔与上提气路相连。

使用时，上提气路与下压气路同时往气缸的有杆腔与无杆腔内通气，通过调节有杆腔与无杆腔的气压差来控制活塞杆的动作。通过两股较大的气压压力的中和作用，可以一定程度上减小气缸内部的阻力影响，使活塞杆的运行过程更为柔和，实现对下降速度与下压力的精准控制。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述下压气路包括第一调压阀、第一电磁阀与第一节流阀，所述第一调压阀的进口与气源相连，出口与第一电磁阀的进口通过气管相连，所述第一电磁阀的出口通过气管与所述气缸的无杆腔相连。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第一调压阀与所述第一电磁阀间的气管上连接有第一气压计。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述上提气路包括第二调压阀、第二电磁阀与第二节流阀，所述第二调压阀的进口与气源相连，出口与第二节流阀的进口通过气管相连，所述第二节流阀的出口通过气管与所述气缸的有杆腔相连。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述上提气路还包括第三节流阀，所述第三节流阀的进口与气源相连，出口通过气管与所述第二电磁阀相连。在驱动刮刀上提时，直接将气源的气体经第三节流阀、第二电磁阀流入气缸的有杆腔，带动刮刀上提，简化刮刀上提动作的控制流程。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述上提气路还包括设于所述第二电磁阀与第二节流阀之间的气管上的气动阀，所述气动阀的控制端与所述气源相连，所述气动阀能够在所述气源失压时封闭所述气管，进而使气缸在下的有杆腔内维持一定的气压，避免刮刀组件下坠损坏加工中的产品。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第二调压阀与第二电磁阀间的气管上连接有第二气压计。