[实用新型]一种进排气阀纵向布置的高真空微型泵

权利要求书

1.一种进排气阀纵向布置的高真空微型泵，其特征在于：包括泵腔组件（1），设置在所述泵腔组件（1）内至上而下的驱动组件（7）和隔膜（6），设置在所述泵腔组件（1）下部的进气腔和排气腔，与所述驱动组件（7）连接的电机（8），设置在所述泵腔组件（1）底端的进气接口（4）和排气接口（5）；所述电机（8）设置在所述驱动组件（7）的右端，所述进气腔和所述排气腔设置在所述隔膜（6）的下方，所述进气腔内设置有进气阀（2），所述排气腔内设置有排气阀（3），所述进气阀（2）和所述排气阀（3）的中心连线与所述电机（8）的轴线平行，所述进气阀（2）和所述排气阀（3）分别与所述进气接口（4）和所述排气接口（5）相通，所述隔膜（6）安装在所述泵腔组件（1）的工作侧。

2.根据权利要求1所述的进排气阀纵向布置的高真空微型泵，其特征在于：所述驱动组件（7）包括连杆、轴承和偏心轮，所述连杆一端连接所述隔膜（6），另一端通过所述轴承与所述偏心轮的偏心小轴连接，所述偏心轮与所述电机（8）的输出轴连接。

3.根据权利要求2所述的进排气阀纵向布置的高真空微型泵，其特征在于：所述电机（8）的所述输出轴与所述偏心轮的连接处采用第一螺钉固定。

4.根据权利要求3所述的进排气阀纵向布置的高真空微型泵，其特征在于：还包括壳体（9），所述泵腔组件（1）和所述电机（8）设置在所述壳体（9）内。

5.根据权利要求4所述的进排气阀纵向布置的高真空微型泵，其特征在于：所述泵腔组件（1）通过第二螺钉固定在所述壳体（9）内。

6.根据权利要求5所述的进排气阀纵向布置的高真空微型泵，其特征在于：所述进气接口（4）和所述排气接口（5）朝向所述微型泵的左侧面或右侧面。