[实用新型]一种便于放取工件的晶体生长炉有效

专利信息
申请号: 202022257659.9 申请日: 2020-10-12
公开(公告)号: CN213739784U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 李中波 申请(专利权)人: 上海御光新材料科技股份有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 上海浙晟知识产权代理事务所(普通合伙) 31345 代理人: 杨秀伟
地址: 200000 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 便于 工件 晶体生长
【说明书】:

实用新型公开了一种便于放取工件的晶体生长炉,包括生长炉本体,所述生长炉本体底部固定有电动伸缩杆,且电动伸缩杆为耐高温材料,所述电动伸缩杆伸缩端顶部外壁开有限位槽,所述限位槽内部插接有限位块,所述限位块顶部外壁固定有固定板,所述生长炉本体底部内壁固定有多个生长环,多个所述生长环顶部外壁均开有多个生长槽,多个所述生长环中间的一个内壁与固定板外壁之间固定有多个斜杆。本实用新型能够在直接将生长环从生长炉本体中取放,便于放置和获取晶体,并且在取放时,设置的十字形结构限位槽和限位块能够保证生长环上下稳定,不会倒塌,并且本装置能够保证生长炉在工作时保持密封状态,便于晶体的生长。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长炉机技术领域,尤其涉及一种便于放取工件的晶体生长炉。

背景技术

晶体生长方法及设备对制备出晶体的品质有至关重要的影响。常见的晶体生长方法有布里奇曼法、区域熔炼法、提拉法、热交换法、浇铸法等。当前实现大规模工业化生产的晶体主要为单晶硅和多晶硅,这些晶体制作时都是通过晶体生长炉来使其快速生长。

但是,现有的晶体生长炉在使用时,当将晶体放置在生长炉中进行生长培养后,不方便将生长完成的晶体生长环取出生长炉,这就导致在培育晶体时整体的培育效率下降,因此,我们需要设计一种便于放取工件的晶体生长炉来改善这类问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种便于放取工件的晶体生长炉。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种便于放取工件的晶体生长炉,包括生长炉本体,所述生长炉本体底部内壁位于中间的位置固定有电动伸缩杆,且电动伸缩杆为耐高温材料,所述电动伸缩杆伸缩端顶部外壁开有限位槽,且限位槽为十字形结构,所述限位槽内部插接有限位块,且限位块为十字形结构,所述限位块顶部外壁固定有固定板,所述生长炉本体底部内壁固定有多个生长环,且生长环之间固定有支撑柱,多个所述生长环顶部外壁均开有多个生长槽,多个所述生长环中间的一个内壁与固定板外壁之间固定有多个斜杆。

进一步的,所述生长炉本体顶部外壁固定有炉口环,且炉口环外壁开有环槽。

进一步的,所述炉口环一侧外壁固定有横板,且横板表面开有槽口。

进一步的,所述槽口内部插接有活动杆,且活动杆延伸至横板底部外壁,活动杆延伸至横板底部外壁的一端固定有第一限位环。

进一步的,所述活动杆延伸至横板顶部外壁的一端开有凹槽,且凹槽两侧内壁转动连接有活动块。

进一步的,所述活动杆外壁固定有第二限位环,且第二限位环位于横板和凹槽之间。

进一步的,所述活动块一侧外壁固定有炉盖,且炉盖底部外壁固定有密封垫,密封垫大小与环槽一致。

进一步的,所述炉盖顶部外壁固定有把手杆。

本实用新型的有益效果为:

1、通过设置的电动伸缩杆能够推动固定板上升,继而将整个放置晶体生长的器皿生长环从生长炉炉口处推出,便于工作人员直接获取生长环,而且在放置或取出生长环时,在电动伸缩杆伸缩端设置的限位槽和固定板底部设置的限位块均为十字形结构,两者在上下移动时能够保持相对稳定,避免生长环在上升或下降时倒塌,造成晶体种子的损失。

2、通过设置的活动块连接的炉盖能够在横板上转动,继而能够使炉盖能够根据工作人员的意愿自由开启或关闭,炉盖底部设置的密封垫在炉盖关闭时恰好卡在环槽上,能够保证整个生长炉的密封,便于晶体在生长炉内快速成长。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种便于放取工件的晶体生长炉的立体结构示意图;

图2为本实用新型提出的一种便于放取工件的晶体生长炉的剖视结构示意图;

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