[实用新型]应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器

权利要求书

1.一种应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，其特征在于，包括：

硅基衬底；

沉积在所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；

位于所述二氧化硅缓冲层上的TE直通段芯层；

位于所述二氧化硅缓冲层上的TM耦合段芯层；以及

位于所述二氧化硅缓冲层上，并包覆所述TE直通段芯层和所述TM耦合段芯层的二氧化硅包层；

其中，所述TE直通段芯层基于第一硅波导，从左到右包括依次相接的输入直波导、条带波导和余切函数弯曲波导；所述条带波导上设置有第一倾斜亚波长光栅结构；

所述TM耦合段芯层基于由第二硅波导、二氧化硅中间层和氮化硅波导从下往上依次相接而形成的三层波导，从左到右包括依次相接的第二倾斜亚波长光栅结构和正切函数弯曲波导。

2.根据权利要求1所述的应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，其特征在于，所述输入直波导的长度为2-5μm，宽度为0.45-0.5μm；所述条带波导的长度为6-7μm，宽度为0.2-0.4μm。

3.根据权利要求1所述的应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，其特征在于，所述第一倾斜亚波长光栅结构和所述第二倾斜亚波长光栅结构，各自周期相同并均为0.4-0.5μm，各自占空比相同并均为0.45-0.55；

所述第一倾斜亚波长光栅结构的宽度为0.42-0.48μm；所述第二倾斜亚波长光栅结构的宽度为0.62-0.68μm；

所述第一倾斜亚波长光栅结构的长度为6.4-6.8μm；所述第二倾斜亚波长光栅结构的长度为8.4-8.8μm；

所述第一倾斜亚波长光栅结构的光栅数量为14-17个；所述第二倾斜亚波长光栅结构的光栅数量为15-18个。

4.根据权利要求3所述的应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，其特征在于，所述第一倾斜亚波长光栅结构的各个光栅平行；所述第二倾斜亚波长光栅结构的各个光栅平行；

所述第一倾斜亚波长光栅结构的光栅沿逆时针方向的水平倾斜角度为130-180度；

所述第二倾斜亚波长光栅结构的光栅沿顺时针方向的水平倾斜角度为140-180度。

5.根据权利要求3所述的应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，其特征在于，所述第一倾斜亚波长光栅结构和所述第二倾斜亚波长光栅结构之间的间距为0.2-0.3μm；

所述第二倾斜亚波长光栅结构比所述第一倾斜亚波长光栅结构向左侧偏移1-2.4μm。

6.根据权利要求1所述的应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，其特征在于，所述余切函数弯曲波导和所述正切函数弯曲波导各自的长度相同并为8-12μm，各自宽度相同并均为0.45-0.5μm，各自横向偏移相同并均为3-5μm，各自弯曲部分分别采用余切函数和正切函数。