[实用新型]一种用于集成电路加工用反应腔室

权利要求书

1.一种用于集成电路加工用反应腔室，包括底座(1)和反应腔室(3)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有两个支座(2)，所述支座(2)的顶部均固定连接有反应腔室(3)，所述底座(1)的顶部且位于反应腔室(3)的一侧固定连接有加热箱(8)，所述底座(1)的顶部且远离加热箱(8)的一侧固定连接有蓄水箱(12)，所述底座(1)的内部固定安装有第一电机(17)，所述第一电机(17)的输出端固定连接有螺纹杆(19)，所述螺纹杆(19)的外侧固定连接有齿轮(18)，所述螺纹杆(19)远离齿轮(18)的一端套有滑动套(23)，所述底座(1)的顶部且位于螺纹杆(19)的一侧固定安装有弹簧(22)，所述弹簧(22)的顶部固定连接有L字型结构的连接套(21)，所述底座(1)的顶部且位于弹簧(22)的一侧固定连接有L字型结构的固定板(20)，所述固定板(20)与滑动套(23)滑动连接，所述固定板(20)与连接套(21)滑动连接，所述固定板(20)与连接套(21)之间固定连接有复位杆(33)，所述复位杆(33)与连接套(21)的顶部滑动连接，所述滑动套(23)的顶部固定连接有横板(24)，所述横板(24)靠近反应腔室(3)的一端安装有清洗组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路加工用反应腔室，其特征在于：所述清洗组件(4)包括固定箱(25)和第二电机(26)，所述横板(24)贯穿反应腔室(3)的内部的一端固定连接有固定箱(25)，所述固定箱(25)的外侧固定安装有第二电机(26)，所述固定箱(25)的内部转动连接有蜗杆(27)，所述第二电机(26)的输出端贯穿固定箱(25)且与蜗杆(27)固定连接，所述固定箱(25)的内部转动连接有转动杆(28)，所述转动杆(28)的外侧固定安装有蜗轮(29)，所述蜗杆(27)与蜗轮(29)啮合连接，所述转动杆(28)延伸至固定箱(25)外侧的一端固定连接有旋转接头(30)，所述旋转接头(30)的一侧固定安装有均匀分布的出水口(31)。

3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路加工用反应腔室，其特征在于：所述蓄水箱(12)的顶部固定安装有水泵(13)，所述水泵(13)的输出端通过输水管道(14)与出水口(31)相连接，所述水泵(13)的输入端通过输水管道(14)与蓄水箱(12)相连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路加工用反应腔室，其特征在于：所述反应腔室(3)的内壁固定安装有压力传感器(6)，所述反应腔室(3)的内壁固定安装有温度传感器(7)。

5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路加工用反应腔室，其特征在于：所述反应腔室(3)的顶部开设有排气阀管道(32)，所述反应腔室(3)的底部且位于两个支座(2)之间开设有废水出口(5)。

6.根据权利要求4所述的一种用于集成电路加工用反应腔室，其特征在于：所述加热箱(8)的外侧固定安装有控制面板(9)，所述加热箱(8)的内部固定安装有风扇(15)，所述加热箱(8)的内部且位于风扇(15)出风口固定安装有均匀分布的电热丝(16)，所述加热箱(8)的顶部固定安装有鼓风机(10)，所述鼓风机(10)的输出端通过输风管道(11)与反应腔室(3)相连接，所述鼓风机(10)的输入端通过输风管道(11)与加热箱(8)相连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于集成电路加工用反应腔室，其特征在于：所述压力传感器(6)、温度传感器(7)、风扇(15)、第一电机(17)和第二电机(26)均与控制面板(9)电性连接。