[实用新型]用于提拉半导体材料的单晶的设备

权利要求书

1.用于从包含在坩埚(8)中的熔体(7)提拉半导体材料的单晶(1)的设备，该设备具有用于旋转提拉轴(14)的装置(20)且具有用于旋转坩埚轴(13)的装置(21)，其特征在于，在驱动器(22)和提拉轴(14)之间的成双蜗轮蜗杆传动装置以及在另一驱动器(31)和坩埚轴(13)之间的另一成双蜗轮蜗杆传动装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，在该提拉轴的上部分(28)和下部分(29)之间的波纹管联轴器(30)。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，在该坩埚轴(13)的上部分(38)和下部分(37)之间的另一波纹管联轴器(39)。

4.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，该驱动器(22)的驱动轴(23)被平行于该提拉轴(14)布置。

5.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，该驱动器(22)被刚性地安装在该成双蜗轮蜗杆传动装置的壳体板(9)上。

6.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，该另一驱动器(31)的另一驱动轴(32)被平行于该坩埚轴(13)布置。

7.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，该另一驱动器(31)被刚性地安装在该另一成双蜗轮蜗杆传动装置的另一壳体板(40)上。