[实用新型]一种非接触式的厚度测量装置

说明书

本实用新型公开了一种非接触式的厚度测量装置，包括测量台，所述测量台的下端固定安装有支撑底座，所述测量台上端的中部固定安装有测量板，所述测量板呈U形结构，所述测量板内侧上端的中部固定安装有激光测头A，所述所述测量板内侧下端的中部固定安装有激光侧头B，所述激光测头A和激光侧头B为同种结构，所述测量台上端的前端活动安装有放置杆A，所述测量台上端的后端活动安装有放置杆B。本实用新型具有物体可以通过放置槽插入在放置杆A和放置杆B的内部进行快速的固定，避免了检测时出现滑动或偏移导致检测不准确的现象，然后通过光滑板使得需要测量厚度的物体可以快速的进行插入与拿出，提高了工作效率，同时提高了该装置的检测效果。

技术领域

本实用新型涉及厚度测量技术领域，具体为一种非接触式的厚度测量装置。

背景技术

光学元件广泛应用于高功率激光装置及半导体行业，光学元件的厚度检测是先进光学制造过程中的一个重要环节，使用千分尺等接触式测量装置极易破坏光学元件的表面，而激光干涉装置等非接触式测量装置结构复杂，测量结果易受外界环境的影响，因此，为满足先进光学制造的应用需求，一种可靠的非接触、高精度(亚微米)厚度测量装置及方法很有必要，以满足元件去除量控制及平行度矫正等方面的需求。

现在对厚度测量都是使用非接触式进行测量，但是现有的非接触式厚度测量装置，只是将需要测量的物体放置在测量台上进行检测，往往会出现滑动偏移导致测量不准确的现象，同时不能对物体进行固定，并且不能对激光检测进行遮挡，导致强烈的光照对测量受到影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种非接触式的厚度测量装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种非接触式的厚度测量装置，包括测量台，所述测量台的下端固定安装有支撑底座，所述测量台上端的中部固定安装有测量板，所述测量板呈U形结构，所述测量板内侧上端的中部固定安装有激光测头A，所述所述测量板内侧下端的中部固定安装有激光侧头B，所述激光测头A和激光侧头B为同种结构。

优选的，所述测量台上端的前端活动安装有放置杆A，所述测量台上端的后端活动安装有放置杆B，所述放置杆A和放置杆B为同种结构，所述放置杆A和放置杆B的内侧固定设置有放置槽，所述放置槽内侧的下端固定安装有光滑板，通过安装放置杆A、放置杆B和光滑板，使得需要测量厚度的物体可以通过放置槽插入在放置杆A和放置杆B的内部，然后通过光滑板使得需要测量厚度的物体可以快速的进行插入与拿出，提高了该装置的检测效果，同时提高了工作效率，解决了现有的厚度测量装置不能对物体放置不稳定的问题。

优选的，所述放置杆A和放置杆B的上端固定设置有固定槽，所述固定槽呈对称分布于放置杆A和放置杆B的上端，所述固定槽的内侧活动安装有固定杆，所述固定杆的上端固定安装有固定按钮，所述固定杆的下端固定安装有固定压板，所述固定压板位于放置杆A和放置杆B的内侧，通过安装固定杆和固定压板，使得需要测量厚度的物体插入在放置杆A和放置杆B内后可以进一步的增加固定，再次避免了检测时出现滑动或偏移导致检测不准确的现象，从而进一步的提高了该装置的检测效果，解决了现有的厚度测量装置不能对物体不能固定的问题。

优选的，所述测量台的上端活动安装有承重柱，所述承重柱呈对称分布于测量台的上端，所述承重柱位于放置杆A和放置杆B的下端，通过安装承重柱，可以对放置杆A和放置杆B起到支撑的作用，避免长度不一的物体放置不了的现象，方便了工作人员进行更换，同时承重柱可以根据物体的重量安装，使得需要测量厚度的物体更加稳定，从而提高了该装置的支撑效果。

优选的，所述承重柱的上端固定安装有承重板，所述承重板的中部固定设置有承重槽，所述承重槽与放置杆A和放置杆B的下端相适配，通过安装承重板，并且设置了承重槽，使得放置杆A和放置杆B更换时将其拿起，然后在放置在承重槽内，不需要进行固定，进一步的提高了该装置的便携性，方便装置打包运输。