[实用新型]一种等离子体除胶设备专用测试治具

说明书

本实用新型公开了一种等离子体除胶设备专用测试治具，包括测试板和限位块，所述测试板的上端面和下端面均设置有卡接部，测试板上镂空设置有反应口，反应口的两侧均开设有第二固定孔，第二固定孔设有两个，两个第二固定孔呈对称分布，两个所述限位块安装在反应口的两侧，限位块的侧端面设置有固定块，固定块上开设有第一固定孔，第一固定孔和第二固定孔上安装有螺丝，所述限位块包括有侧挡板、前挡板和下挡板，前挡板设置在侧挡板和下挡板的前端，下挡板设置在前挡板和侧挡板的下端。本实用新型具备操作简单，不需要贴耐高温胶纸，直接放入测试治具中即可、测试结果偏差小、测试安全不会引起设备及产品质量问题的优点。

技术领域

本实用新型涉及等离子体除胶设备技术领域，具体为一种等离子体除胶设备专用测试治具。

背景技术

目前，日常生产测试除胶速率及均匀性测试时，使用耐高温胶纸黏贴测试片固定在生产板挂架上，或由生产板锣空槽粘贴测试片，由于等离子体除胶设备腔体内有均匀分布的电极片，每个电极片之间的距离约30-40mm，其中还要放入生产挂架，电极之间空间狭小，测试片不易固定，容易导致测试片触碰电极造成局部温度过高影响电极效率，严重时容易造成射频发生器烧坏。生产操作不当时，也会使测试片附着在生产板表面影响生产板的除胶效果，有严重的品质隐患，测试时使用耐高温胶纸固定测试片会造成一部分的测试片贴上胶纸，此部分位置在测试时不反应，往往会导致测试结果产生偏差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种等离子体除胶设备专用测试治具，具备操作简单，不需要贴耐高温胶纸，直接放入测试治具中即可、测试结果偏差小、测试安全不会引起设备及产品质量问题的优点，解决了上述技术背景所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子体除胶设备专用测试治具，包括测试板和限位块，所述测试板的上端面和下端面均设置有卡接部，测试板上镂空设置有反应口，反应口的两侧均开设有第二固定孔，第二固定孔设有两个，两个第二固定孔呈对称分布，两个所述限位块安装在反应口的两侧，限位块的侧端面设置有固定块，固定块上开设有第一固定孔，第一固定孔和第二固定孔上安装有螺丝，所述限位块包括有侧挡板、前挡板和下挡板。

优选的，所述卡接部共有两个，两个卡接部关于测试板呈对称分布。

优选的，所述反应口共设有三个，三个反应口关于测试板呈均匀等距分布。

优选的，所述前挡板设置在侧挡板和下挡板的前端，下挡板设置在前挡板和侧挡板的下端。

优选的，所述限位块共设有六个，六个限位块的位置与三个反应口的位置相对应。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：测试片位置为反应口，测试片从限位块的上方放入，左右方向的限位块能够固定测试片，防止测试片从底下掉落及左右滑动，保证测试片的反应面积，操作简单，不需要贴耐高温胶纸，直接放入测试治具中即可，相对耐高温胶纸占用测试位置会影响测试结果，本实用新型测试结果偏差小，而且相对于耐高温胶纸贴住测试片容易摆动移位，生产时也有掉落的隐患，本实用新型测试安全不会引起设备及产品质量问题。

附图说明

图1为本实用新型的正视图；

图2为本实用新型的正视的剖视图；

图3为本实用新型的俯视图；

图4为本实用新型的限位块结构图。

图中的附图标记及名称如下：

1、卡接部；2、反应口；3、测试板；4、固定块；5、第一固定孔；6、限位块；7、第二固定孔；8、侧挡板；9、前挡板；10、下挡板。

具体实施方式