[实用新型]一种用于石英舟的检测装置

说明书

本实用新型公开了一种用于石英舟的检测装置，包括放置平台，所述放置平台包括底板、以及设置在底板上的若干限位块；限位块的主体结构为“L”形，相邻的限位块构成限位结构，石英舟通过限位结构放置在放置平台上，在石英舟之间设有下槽齿板；在所述底板上设有若干升降导轨，在升降导轨上设有多齿插板，多齿插板活动设置在升降导轨上，且可沿升降导轨上下移动，在所述多齿插板的前后侧分别设有有一上槽齿板，在所述下槽齿板和上槽齿板之间设有校验板。

技术领域

本实用新型涉及石英舟检测领域，具体地说，特别涉及到一种用于石英舟的检测装置。

背景技术

在集成电路与光伏扩散工艺制程中，需要由石英舟作为晶圆(硅片)的载体。因而对石英舟的平行度和平行度有相应的要求。目前的检测方法是采用百分表高度尺测量石英舟表面不同位置的数值，并计算得出平行度。

这种方法检测时间长；检测步骤繁琐；尺寸精度难以保证的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术中的不足，提供一种用于石英舟的检测装置，以解决现有技术中存在的问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种用于石英舟的检测装置，包括放置平台，所述放置平台包括底板、以及设置在底板上的若干限位块；限位块的主体结构为“L”形，相邻的限位块构成限位结构，石英舟通过限位结构放置在放置平台上，在石英舟之间设有下槽齿板；

在所述底板上设有若干升降导轨，在升降导轨上设有多齿插板，多齿插板活动设置在升降导轨上，且可沿升降导轨上下移动，在所述多齿插板的前后侧分别设有有一上槽齿板，在所述下槽齿板和上槽齿板之间设有校验板。

进一步的，所述底板的主体结构为矩形，在底板的四个边角位置分别设有一限位块。

进一步的，所述升降导轨的设置数量为四个，升降导轨的主体结构为圆柱体。

进一步的，所述多齿插板上开设有若干通孔，且通过通孔套设在升降导轨上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

通过采用放置平台、升降导轨、下槽齿板和上槽齿板的结构，可快速准确的计算出石英舟的平行度。

附图说明

图1为本实用新型所述的用于石英舟的检测装置的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

参见图1，本实用新型所述的一种用于石英舟的检测装置，包括放置平台(1)，所述放置平台(1)包括底板(11)、以及设置在底板(11)上的若干限位块(12)；限位块(12)的主体结构为“L”形，相邻的限位块(12)构成限位结构，石英舟(3)通过限位结构放置在放置平台(1)上，在石英舟(3)之间设有下槽齿板(4)；

在所述底板(11)上设有若干升降导轨(5)，在升降导轨(5)上设有多齿插板(6)，多齿插板(6)活动设置在升降导轨(5)上，且可沿升降导轨(5)上下移动，在所述多齿插板(6)的前后侧分别设有有一上槽齿板(7)，在所述下槽齿板(4)和上槽齿板(7)之间设有校验板(8)。

所述底板(11)的主体结构为矩形，在底板(11)的四个边角位置分别设有一限位块(12)。

所述升降导轨(5)的设置数量为四个，升降导轨(5)的主体结构为圆柱体。

所述多齿插板(6)上开设有若干通孔，且通过通孔套设在升降导轨(5)上。

本实用新型的检测过程如下：