[实用新型]一种用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具有效
申请号: | 202022195186.4 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213803524U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 李应;陈剑;查健江;王小辉 | 申请(专利权)人: | 山东富通光导科技有限公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 250100 山东省济南市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 沉积 过程 固定 把手 位移 夹具 | ||
1.一种用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具,其特征在于:包括夹具(1),夹具(1)的上下两侧均设有第一石墨块(2),第一石墨块(2)的顶面开设通孔(3),夹具(1)顶面和底面均开设螺孔(4),通孔(3)内设有螺栓(5),螺栓(5)能沿通孔(3)移动,螺栓(5)的端部与相对应的螺孔(4)通过螺纹配合连接,夹具(1)的一侧设有靶棒(6),靶棒(6)的一端与夹具(1)相配合,靶棒(6)的另一端设有连接板(7),连接板(7)的顶面固定安装V型支架(8),V型支架(8)的一侧活动设置第二石墨块(9),靶棒(6)的另一端能够放置在V型支架(8)内,靶棒(6)的另一端能够与第二石墨块(9)相配合,靶棒(6)的一端套装石英把手棒(10),石英把手棒内设置O型的密封圈,石英把手棒(10)上下两侧均固定安装凸块(11),第一石墨块(2)的内侧开设凹槽(12),凹槽(12)与凸块(11)相对应。
2.根据权利要求1所述的一种用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具,其特征在于:所述的夹具(1)的内侧固定安装保护层。
3.根据权利要求1所述的一种用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具,其特征在于:所述的V型支架(8)的内侧固定安装防滑层和耐磨层。
4.根据权利要求1所述的一种用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具,其特征在于:所述的连接板(7)的顶面开设横向的滑槽,滑槽内设有两个滑块,滑块能沿滑槽移动,滑块的上端与第二石墨块(9)的底面固定连接,滑块与连接板(7)通过定位销连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具,其特征在于:所述的滑块的底面开设球形槽,球形槽内设有圆球,圆球能够在球形槽内滚动,圆球能够与滑槽相接触并能沿滑槽移动。
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