[实用新型]一种PDMS材料用超声辅助超低温微细铣削复合加工装置

权利要求书

1.一种PDMS材料用超声辅助超低温微细铣削复合加工装置，其特征是它包括微细喷嘴（3）、微细喷嘴固定装置（4）、伺服电机（5）、主轴（6）、超声微径铣刀刀具组件（7）、横梁（8）、立柱（9）、工作台（11）和底座（12），工作台（11）安装在底座（12）上，所述的工作台（11）上固定有PDMS基片（1），立柱（9）安装在工作台（11）上，横梁（8）安装在立柱（9）上，所述的超声微径铣刀刀具组件（7）固定在主轴（6）上并位于PDMS基片（1）的上部，主轴（6）安装在横梁（8）上并由也安装在横梁上的伺服电机（5）驱动，微细喷嘴（3）通过微细喷嘴固定装置（4）固定在横梁上，开始加工前，调整微细喷嘴的位置，使液氮射流聚焦在超声微径铣刀刀具组件（7）前段的待加工区域并形成脆化域（13）。

2.根据权利要求1所述的PDMS材料用超声辅助超低温微细铣削复合加工装置，其特征是所述的超声微径铣刀刀具组件（7）上添加有超声辅助装置，能够增加PDMS铣削加工区域的液氮射入量，获得有效的超低温冷却，进而形成有效的脆化域（13）。

3.根据权利要求1所述的PDMS材料用超声辅助超低温微细铣削复合加工装置，其特征是所述的微细喷嘴（3）的进口端安装有液氮射流阀门（2）。