[实用新型]一种高纯氮气纯化装置

权利要求书

1.一种高纯氮气纯化装置，其特征在于，包括通过进气管依次相连接的稳压阀、吸附器、过滤器、背压阀、流量检测计，在流量检测计的出口管路上分设有纯气出口分支管路、放空分支管路，且在流量检测计的出口管路上设有气体成分检测计；

所述吸附器包括两个并联设置的两个分吸附器，所述两个分吸附器的进口端之间通过进口阀门组相连接，两个分吸附器的出口端之间通过出口阀门组相连接，进口阀门组和出口阀门组用于控制两个分吸附器互相备用交替工作，所述稳压阀的出口与进口阀门组相连接，过滤器的进口与出口阀门组相连接。

2.根据权利要求1所述的高纯氮气纯化装置，其特征在于，在分吸附器与进口阀门组之间设有空冷器，在空冷器与分吸附器之间设有真空表，在进口阀门组与放空分支管路之间设有真空泵，所述真空泵与真空表之间信号控制连接。

3.根据权利要求1或2所述的高纯氮气纯化装置，其特征在于，所述分吸附器内装有瓷球、吸气剂。