[实用新型]一种真空系统用控制装置

权利要求书

1.一种真空系统用控制装置，包括箱体(9)，其特征在于：所述箱体(9)的内壁固定连接有罗茨泵(1)、真空泵(2)、继电器(10)和控制器(12)，所述罗茨泵(1)和真空泵(2)之间设置有第二横管(11)，所述第二横管(11)的一端与罗茨泵(1)的出口端固定连接，所述第二横管(11)的另一端与真空泵(2)的入口端固定连接，所述真空泵(2)的出口端固定连接有第一横管(7)，所述第一横管(7)的一端贯穿于箱体(9)的外壁后伸至外部，所述罗茨泵(1)的入口端通过管道连接有电池阀(14)，所述电池阀(14)的一端固定连接有连接管(13)，所述箱体(9)的一侧设置有真空室(17)，所述连接管(13)的一端与真空室(17)的内腔连通，所述箱体(9)下方对称设置有四个套筒(5)，四个所述套筒(5)底部均固定连接有底座(6)，四个所述套筒(5)的内腔设置有限位块(21)，所述限位块(21)顶部固定连接有连接杆(4)，所述连接杆(4)顶端与箱体(9)底部固定连接，所述连接杆(4)外侧套设有弹簧(3)，所述弹簧(3)顶端与箱体(9)底部固定连接，所述弹簧(3)底端与套筒(5)顶部固定连接。

2.根据权利要求1所述的真空系统用控制装置，其特征在于：所述箱体(9)的侧壁贯穿固定连接有散热机构(8)，所述散热机构(8)包括排风扇(18)、散热通道(19)和过滤网(20)，所述散热通道(19)与箱体(9)贯穿固定连接，所述散热通道(19)的内壁固定连接有排风扇(18)和过滤网(20)。

3.根据权利要求1所述的真空系统用控制装置，其特征在于：所述接管(13)的外壁固定连接有阀门(15)，所述真空室(17)顶部固定连接有热电偶真空计(16)，所述热电偶真空计(16)的测量端贯穿于真空室(17)的外壁后伸至其内腔。

4.根据权利要求1所述的真空系统用控制装置，其特征在于：所述箱体(9)的侧壁通过铰链铰接有门板(22)，所述罗茨泵(1)、真空泵(2)和电池阀(14)均通过导线与继电器(10)电连接，所述继电器(10)和热电偶真空计(16)均通过导线与控制器(12)电连接，所述控制器(12)通过导线与外部电源电连接。

5.根据权利要求2所述的真空系统用控制装置，其特征在于：所述排风扇(18)通过导线与外部开关电连接。