[实用新型]一种真空测试模具

说明书

本实用新型提供了一种真空测试模具，该模具由模块A以及模块B共同组成，两组所述模块A对应密封设置于原料混合器的两侧部，所述模块B密封设置于所述原料混合器的下端部，所述模具对所述原料混合器进行密封，以控制其内部的真空度；通过设置由模块A和模块B共同组成的模具，对应与原料混合器本体的侧部和端部进行密封连接，并与真空泵以及氦气测漏机相串联，从而可有效控制原料混合器内部的真空度，真空压力可达到集成电路制造需求，且具备大范围检漏能力，解决了现有技术中存在的真空度难以控制和测量的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，具体涉及一种真空测试模具。

背景技术

在现有的集成电路制造领域中，通常会使用原料混合器进行原料反应，而由于原料混合器是由多个部件组合在一起使用的，因此各部件之间的连接结构密封性难以保证，反应室内的压力条件难以控制和保障。

申请号为CN201410290189.2的中国实用新型专利公开了测试真空度的方法和装置，该方法包括：向待测器件输入射频扫描信号；接收待测器件在射频扫描信号的频率与待测器件的固有频率一致时发生谐振所产生的输出信号；根据输出信号测试待测器件所处环境的真空度。

然而在集成电路制造的原料反应过程中，对反应室内部的真空度要求很高，若漏真空的问题，会使原料提前反应，造成产品量率降低，目前暂无原料混合器真空状况的量测方法，使用者在使用后对设备进行调试时才能发现漏真空等情况，造成时间成本的提升。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型提供了一种真空测试模具，通过设置由模块A和模块B共同组成的模具，对应与原料混合器本体的侧部和端部进行密封连接，并与真空泵以及氦气测漏机相串联，从而可有效控制原料混合器内部的真空度，真空压力可达到集成电路制造需求，且具备大范围检漏能力，解决了现有技术中存在的真空度难以控制和测量的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空测试模具，该模具由模块A以及模块B共同组成，两组所述模块A对应密封设置于原料混合器的两侧部，所述模块B密封设置于所述原料混合器的下端部，所述模具对所述原料混合器进行密封，以控制其内部的真空度。

作为优选，所述模块B上设置有用于与真空泵以及氦气测漏机串联使用的接口。

作为优选，所述原料混合器上安装所述模具并与真空泵以及氦气测漏机进行串联后，真空压力可达3mtorr以下，氦气测漏环境可达1.0x10^-8mtorr/s。

作为优选，所述模块A以及模块B分别可拆卸安装于所述原料混合器上。

作为优选，所述模块A以及模块B的四角分别通过第一螺丝以及第二螺丝对应安装于所述原料混合器上，且所述第二螺丝由所述原料混合器的上端部向下贯穿将所述模块B固定。

作为优选，所述模块A设置为与所述原料混合器的侧面形状相匹配的长方形块体结构。

作为优选，所述模块B包括与所述原料混合器的下端面相匹配贴合的本体以及由所述本体的中心向外延伸设置的通口。

作为优选，所述通口与本体一体成型设置，且所述本体上对应所述通口开设有通孔。

作为优选，所述通口的口径由所述本体的端面向外逐渐增大的喇叭状。

作为优选，所述模块A以及模块B均设置为铝合金材质，且表面均设置为光滑平面。

本实用新型的有益效果在于：