[实用新型]刻蚀机核心部件流转箱

说明书

本实用新型公开了一种刻蚀机核心部件流转箱，包括平板脚轮、框架，所述框架前面左右两侧设置有立柱二，后面左右两侧设置有立柱一；立柱一和立柱二顶部和底部分别连接有顶框和底框，顶框和底框之间的立柱一和立柱二上间隔连接有若干个横档；所述立柱二相邻两边均连接有横档，立柱一仅一边连接有横档；横档与横档连接处设置有90°角件；横档与立柱一、立柱二连接处设置有90°角件；内六角螺钉将相互垂直的横档与90°角件紧固在一起，内六角螺钉将相互垂直的横档、立柱一与90°角件紧固在一起。本实用新型组装拆卸方便，减少了焊接缺陷，降低了劳动强度，能适应不同尺寸型号的产品，防止工件在流转中途相互运动导致磕碰。

技术领域

本实用新型涉及领域，尤其涉及一种刻蚀机核心部件流转箱。

背景技术

在量产工业(fab)中，Vector机台最大的消耗品就是其气体分流器，因为半导体制程的高标准，必须要求所沉积薄膜具有良好的薄膜均一性，而薄膜均一性在很大程度上取决于喷淋头(showerhead)的状况，随着机台跑货片数的增加，showerhead状态也会随之变化，导致所沉积薄膜均一性缓慢上升，最终会超出规格线。此时只能更换showerhead才能使薄膜均一性恢复正常。批量生产showerhead部件数量较大，每个部件制造时常常会用到多个加工工序，工序之间需要进行物料周转。传统的物料周转是采用底部加轮子的平台，批量进行人工推动周转，但因工艺布局的限制，工序之间移动距离远,存在大量的人力浪费，另外批量流转容易导致产品磕碰，影响产品质量。

发明内容

本实用新型的目是解决上述技术问题，提供一种刻蚀机核心部件流转箱。

为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本实用新型所采用的技术方案是：刻蚀机核心部件流转箱，包括平板脚轮、框架，其特征在于：所述框架前面左右两侧设置有立柱二，后面左右两侧设置有立柱一；所述立柱一和立柱二顶部和底部分别连接有顶框和底框，顶框和底框之间的立柱一和立柱二上间隔连接有若干个横档；所述立柱二相邻两边均连接有横档，所述立柱一仅一边连接有横档；所述横档与横档连接处设置有90°角件；所述横档与立柱一、立柱二连接处设置有90°角件；内六角螺钉将相互垂直的横档与90°角件紧固在一起，内六角螺钉将相互垂直的横档、立柱一与90°角件紧固在一起，内六角螺钉将相互垂直的横档、立柱二与90°角件紧固在一起；所述底框底面设置有平板脚轮。

优选的：所述的横档、立柱一和立柱二采用四面带T型槽的铝型材，截面为正方形。

优选的：所述的横档、立柱一和立柱二上T型槽内嵌设有若干个T型滑块螺母。

优选的：所述的立柱一设置在横档的外侧。

优选的：专用平板上设置有与工件匹配的用于固定的工艺孔及与横档卡槽匹配的折边高度。

优选的：所述的平板脚轮包括固定脚轮和活动带刹车脚轮。

与传统结构相比,本实用新型的有益效果是：

1.采用铝合金型材产品具有强度高、重量轻、耐腐蚀、组装拆卸方便，能适应不同尺寸型号的产品，换型速度快，提高了换型效率，减少了焊接缺陷，降低了劳动强度。

2.专用平板上设置有与工件匹配的用于固定的工艺孔，便于将工件锁在专用平板上，防止工件在流转中途相互运动导致磕碰。

3.立柱一设置在横档的外侧便于推拉专用平板。

附图说明

图1为本实用新型立体示意图；

图2为本实用新型中框架立体示意图；

图3为图2中A处放大图；

图4为本实用新型中专用平板结构示意图；