[实用新型]单晶硅棒切割面角度检测装置

权利要求书

1.一种单晶硅棒切割面角度检测装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)顶部一侧固定安装有直线导轨(2)，所述直线导轨(2)内部固定安装有丝杠(9)，所述丝杠(9)套设有滑块(10)，所述滑块(10)的顶部固定安装有移动夹具(4)，所述机架(1)顶部在远离移动夹具(4)的一侧固定安装有固定夹具(5)，所述机架(1)顶部在靠近固定夹具(5)的一侧固定安装有角度测量仪(6)，所述机架(1)内部一侧固定安装有电机(8)，所述机架(1)内部在靠近电机(8)顶部一侧固定安装有转轴(3)，所述电机(8)的输出轴套设有主动齿轮(23)，所述转轴(3)套设有传动齿轮(22)，所述丝杠(9)在远离滑块(10)的一侧套设有从动齿轮(11)，所述从动齿轮(11)、传动齿轮(22)和主动齿轮(23)相互啮合传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述移动夹具(4)和固定夹具(5)均包括固定底座(16)，所述固定底座(16)的顶部固定安装有固定柱(17)，所述固定柱(17)的一侧固定安装有伸缩杆(18)，所述伸缩杆(18)的另一侧固定安装有定位器(20)，所述伸缩杆(18)的活塞杆顶部一侧固定安装有夹头(19)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述伸缩杆(18)设置有三个活塞杆且均匀布置在同一平面内，所述伸缩杆(18)为电动伸缩杆或气动伸缩杆。

4.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述夹头(19)外侧套设有防护套，所述防护套为橡胶材质，且防护套的表面设有防滑纹理。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述角度测量仪(6)包括安装座(12)，所述安装座(12)的顶部固定安装有立柱(13)，所述立柱(13)顶部一侧固定安装有显示器(14)，所述立柱(13)顶部在远离显示器(14)的一侧固定安装有测量相机(15)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述直线导轨(2)的顶部固定安装有防尘罩(7)，且所述防尘罩(7)为柔性风琴防尘罩。

7.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述安装座(12)和固定底座(16)内部均设置有通孔，所述通孔内部均贯穿有螺栓，所述安装座(12)通过螺栓固定安装在机架(1)顶部，所述移动夹具(4)的固定底座(16)通过螺栓固定安装在滑块(10)的顶部，所述固定夹具(5)的固定底座(16)通过螺栓固定安装在机架(1)顶部。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述机架(1)在靠近电机(8)的一侧固定安装有散热百叶窗(21)，且所述散热百叶窗(21)设置有若干切斜向下的导风板。