[实用新型]用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉

说明书

本实用新型属于一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体、空心球标砖、加热棒、窑内小车、挡火槽、导向轨道、炉体支撑架、第一高温纤维板、第二高温纤维板、第三高温纤维板、第四高温纤维板和第五高温纤维板，所述压烧炉主体底部设置有炉体支撑架，所述炉体支撑架内部设置有用于导向轮移动的导向轨道，所述导向轨道上方设置有挡火槽，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道上移动。

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，具体涉及一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉。

背景技术

随着功率电子器件的发展，电路板集成度与工作频率不断提高，散热问题已成为功率电子器件发展中必须要解决的关键问题。陶瓷基片是大功率电子器件、集成电路基片的封装材料，是功率电子、电子封装与多芯片模块等技术中的关键配套材料，其性能决定着模块的散热效率和可靠性。

DBC半导体热电基片是用DBC技术将铜片直接烧结到Al2O3或AlN陶瓷表面制成的一种复合覆铜陶瓷板，具有高导热性、高的电绝缘性、电流容量大、机械强度高、与硅芯片相匹配的温度特性等特点。

Al2O3陶瓷片制作过程时，需要将陶瓷片基体冲压成单个陶瓷片坯片，并且将陶瓷片坯片两面的杂质去除掉，然后将陶瓷片坯体放置于推板炉中烧制，在传统推板窑中进行烧制的时候，传统推板窑的隔热性很差，大大浪费了能源，同时传统推板窑的隔热结构过于单一，使得传统推板窑的可靠性很差，存在部分隔热结构过早损耗的坏处。

实用新型内容

针对上述现有技术中的不足，本实用新型提供了用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉。

用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体、空心球标砖、加热棒、窑内小车、挡火槽、导向轨道、炉体支撑架、第一高温纤维板、第二高温纤维板、第三高温纤维板、第四高温纤维板和第五高温纤维板，所述压烧炉主体底部设置有炉体支撑架，所述炉体支撑架内部设置有用于导向轮移动的导向轨道，所述导向轨道上方设置有挡火槽，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道上移动，所述压烧炉主体顶部设置有第三高温纤维板，所述第三纤维板上方设置有第二高温纤维板，所述第二高温纤维板上方设置有第一高温纤维板，所述压烧炉主体的四周设置有第四高温纤维板，所述第四高温纤维板内测设置有第五高温纤维板。

所述窑炉小车通过导向轨道进出压烧炉。

所述第一高温纤维板的工作温度为800摄氏度。

所述第二高温纤维板的工作温度为1200摄氏度。

所述第三高温纤维板的工作温度为1500摄氏度。

所述第四高温纤维板的工作温度为800摄氏度。

所述第五高温纤维板的工作温度为1200摄氏度。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型结构简单，隔热性很好，对比传统压烧炉节约了能源。

本实用新型隔热结构为多级隔热，使得压烧炉的可靠性提高，提高了压烧炉的可靠性。

附图标记

1、压烧炉主体，2、空心球标砖，3、加热棒，4、窑内小车，5、挡火槽，6、导向轨道，7、炉体支撑架，8、第一高温纤维板，9、第二高温纤维板，10、第三高温纤维板，11、第四高温纤维板，12、第五高温纤维板。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

实施例1：