[实用新型]一种槽式晶硅承载花篮料盒有效
| 申请号: | 202022156257.X | 申请日: | 2020-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN213124399U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
| 发明(设计)人: | 郭金城;陈如龙;陶龙忠;杨灼坚 | 申请(专利权)人: | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 224000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 槽式晶硅 承载 花篮 | ||
本发明提供一种槽式晶硅承载花篮料盒,包括齿槽和花篮齿,所述齿槽为圆柱管状,所述花篮齿规则的设置在齿槽的侧壁上,所述花篮齿是三段式锯齿状,每段锯齿间夹角呈30‑45度。该花篮料盒优化了整体结构,减少硅片与花篮齿接触面积,让药液和添加剂充分有效的与硅片反应,从而降低花篮印比例,提高硅片良率。
技术领域
本发明属于太阳能电池领域,尤其涉及一种槽式晶硅承载花篮料盒。
背景技术
在晶硅太阳电池生产的碱抛工序中,需要把大量硅片均匀分开浸入反应槽中进行定时定量的化学反应,因此需要将硅片分层放置在花篮料盒内操作,现有花篮的花篮齿多为椭圆形,当硅片竖着插于花篮齿间时,硅片与花篮齿会紧贴在一起,导致药液和添加剂无法与硅片表面充分反映,进而出现EL花篮印,比例可达1-1.5%,严重影响电池硅片的良率,也增加返工比例,提高了公司成本。
发明内容
鉴于以上,本发明提供一种槽式晶硅承载花篮料盒,优化了整体结构,减少硅片与花篮齿接触面积,让药液和添加剂充分有效的与硅片反应,从而降低花篮印比例,提高硅片良率。
本发明具体技术方案如下:
一种槽式晶硅承载花篮料盒,其特征在于,包括齿槽和花篮齿,所述齿槽为圆柱管状,所述花篮齿规则的设置在齿槽的侧壁上,所述花篮齿是三段式锯齿状,每段锯齿间夹角呈30-45度。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
图1为槽式晶硅承载花篮料盒的结构示意图;
其中,1-齿槽,2-花篮齿, θ-每段锯齿间夹角。
具体实施方式
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能解释为对本发明的限制。
参照图1,本实施例的一种槽式晶硅承载花篮料盒,包括齿槽1和花篮齿2,齿槽1为圆柱管状,花篮齿2规则的设置在齿槽1的侧壁上,花篮齿2是三段式锯齿状,每段锯齿间夹角θ呈30-45度。
本实施例的槽式晶硅承载花篮料盒,优化了整体结构,将花篮齿2设计成夹角为30-45度的三段式锯齿状,当硅片竖着插于花篮齿间时,锯齿状的花篮齿2减少了与硅片的接触面积,让药液和添加剂充分有效的与硅片反应,从而降低花篮印比例,对产能线的硅片良品率提升有很大的作用,具有广阔的应用前景。
尽管参照本发明的示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述,但是必须理解,本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例,这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言,在前述公开、附图以及权利要求的范围之内,可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进,而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进,其范围由所附权利要求及其等同物限定。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





