[实用新型]一种单晶炉提拉头

说明书

本发明涉及单晶炉设备制造领域，尤其是一种单晶炉提拉头所述支撑板上安装有减速器，减速器蜗杆与支撑板蜗杆孔同轴，所述减速器通过转接法兰连接有电机，所述支撑板上还有一个提升腔与减速器连接，所述提升腔中的花键与减速器中的涡轮同轴，所述提升腔上还通过套筒法兰安装有一个套筒，所述支撑板上安装有配重块，所述减速器的涡轮轴轴向平行于支撑板上平面，所述减速器的蜗杆轴垂直于支撑板上平面，电机通过转接法兰连接减速器蜗杆轴的上端，本实用新型相比现有技术拥有更小的旋转半径，更合理的质量分布，更轻的质量，更合理的结构使单晶炉提拉头具有了运行平稳、高拉升成品率、便于安装等优点。

技术领域

本发明涉及单晶炉设备制造的技术领域，尤其是一种单晶炉提拉头。

背景技术

单晶炉，又称全自动直拉单晶生长炉，是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。籽晶旋转提升机构俗称提拉头，主要由支撑板、提升腔、减速器、电机、钢缆、称重头等组成。整个提升装置在一根中空的轴上旋转，该机构经过静平衡和动平衡测试，在整个运行范围内可实现无振动平稳的运行。旋转密封和提升进给密封均采用磁流体密封。提升腔、离合器腔、称重腔和晶升底板均由高强度铝制造而成。现有技术的单晶炉提拉头有以下几个问题：

1、旋转半径大，局部质心分布不合理，配重块重量大，导致所需的启动扭矩大，运行期间所需功率大，也会影响拉晶成平率。

2、安装不便，在组装提拉头时，有两个相互垂直的同轴度公差需要在同一个工序中同时保证，给提拉头的装配带来了很大的难度。

发明内容

本实用新型的目的是：克服现有技术中的不足，提供一种节能环保、成品率高的单晶炉提拉头。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

一种单晶炉提拉头，包括带有蜗杆孔的支撑板，所述支撑板上安装有减速器，所述减速器的涡轮轴轴向平行于支撑板上平面，所述减速器的蜗杆轴垂直于支撑板上平面，减速器蜗杆与支撑板蜗杆孔同轴，所述减速器的蜗杆的上端通过转接法兰连接有电机，所述支撑板上还有一个提升腔与减速器连接，所述提升腔中的花键与减速器中的涡轮同轴，所述提升腔上还通过套筒法兰安装有一个套筒，所述支撑板上安装有配重块。

进一步的，所述支撑板由第一支撑板和第二支撑板组成。

进一步的，所述第一支撑板和第二支撑板上还设置有连接板。

进一步的，所述连接板用螺栓固定在第一支撑板和第二支撑板上。

进一步的，所述支撑板上的蜗杆孔在第二支撑板上。

进一步的，所述支撑板上的蜗杆孔有一部分在第一支撑板上，另一部分在第二支撑板上，第一支撑板上组成蜗杆孔的圆弧弧长小于于第二支撑板上组成蜗杆孔的圆弧弧长。

进一步的，所述套筒通过螺钉、弹簧垫圈、平垫圈与套筒法兰连接。

采用本发明的技术方案的有益效果是：

1、电机与转接法兰竖直布置，减小了旋转半径，电机与转接法兰的质心更靠近旋转轴，所需的配重块质量减少，减轻了总体重量，降低了需要的启动扭矩和运行功率，节能环保，运行更加平稳，提升了拉晶的成品率。

2、现有技术的结构决定了装配提拉头时，在将减速器安装到支撑板上这一道工序时，需要同时保证提升腔花键轴与减速器涡轮轴的同轴度公差和减速器蜗杆轴和支撑板蜗杆孔轴的同轴度公差，而本实用新型组合式支撑板的结构决定了装配式可以先保证提升腔花键轴和减速器涡轮轴的同轴度公差，再在安装第二支撑板时保证减速器蜗杆轴和支撑板蜗杆孔轴的同轴度公差，显著降低了提拉头的装配难度。