[实用新型]固定装置及退火炉

说明书

本公开提供了一种固定装置及退火炉。固定装置用于对炉子上的温度控制装置的控温热电偶进行固定，固定装置包括支撑板和连接组件，支撑板固定在炉子的外侧，连接组件的一端固定连接于支撑板的远离炉子的一侧，另一端用于固定控温热电偶，其中，连接组件能够沿控温热电偶的延伸方向移动以使温度控制装置根据控温热电偶伸入炉内的深度来调节炉内的温度。本公开的固定装置将控温热电偶固定在炉子上，有效地防止了控温热电偶相对炉子晃动，提高了温度调节装置调节退火炉的温度的稳定性和准确性。

技术领域

本公开涉及化工技术领域，尤其涉及一种固定装置及退火炉。

背景技术

在晶片退火过程中，需要精确控制退火炉不同时间阶段的温度。为了调整退火炉内的温度，退火炉设有温度调节装置，温度调节装置包括控温热电偶，温度调节装置根据控温热电偶插入退火炉内的深度来控制炉子的温度。现有的退火炉设有孔，控温热电偶直接插在孔上，这种固定控温热电偶的方式不稳定，使得控温热电偶的位置容易发生变动，一旦控温热电偶的位置发生变动，则温度调节装置会根据控温热电偶的位置变动调节退火炉内的温度，从而引起退火炉温度不需要的改变，影响晶片的成型质量。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题，本公开的目的在于提供一种固定装置及退火炉，当固定装置用于退火炉上时，其能够对控温热电偶进行有效地固定，提高退火炉的温度调节的稳定性和准确性。

为了实现上述目的，本公开提供了一种固定装置，固定装置用于对炉子上的温度控制装置的控温热电偶进行固定，固定装置包括支撑板和连接组件，支撑板固定在炉子的外侧，连接组件的一端固定连接于支撑板的远离炉子的一侧，另一端用于固定控温热电偶，其中，连接组件能够沿控温热电偶的延伸方向移动以使温度控制装置根据控温热电偶伸入炉内的深度来调节炉内的温度。

在一实施例中，连接组件包括定位件和连接件，连接件的一端固定连接于支撑板，定位件固定连接于连接件的另一端并与支撑板间隔开，定位件的与连接件相反的一侧用于固定控温热电偶。

在一实施例中，连接件包括第一螺栓，定位件设有与第一螺栓配合的第一螺孔，支撑板设有与第一螺栓配合的第二螺孔，第一螺栓穿过定位件的第一螺孔并将定位件固定于第一螺栓的上部，第一螺栓的下端螺纹连接于支撑板的第二螺孔。

在一实施例中，连接件还包括与第一螺栓配合的第一螺母，第一螺母设置于支撑板的靠近炉子的一侧并与第一螺栓的下端螺纹连接。

在一实施例中，定位件包括第一定位部和与第一定位部彼此独立的第二定位部，第一定位部固定于连接件的上部；沿与连接件垂直的方向，第二定位部固定连接于第一定位部的一端以将控温热电偶夹设在第一定位部与第二定位部之间。

在一实施例中，定位件还包括第一紧固件，第一定位部设有第一接合孔，第二定位部设有与第一接合孔对应的第二接合孔，第一紧固件穿过第二接合孔并连接于第一接合孔以将第二定位部与第一定位部固定连接。

在一实施例中，固定装置还包括测量件，测量件设置在连接件的一侧，测量件设有刻度以用于测量连接件上下移动的距离。

在一实施例中，支撑板设有开孔，开孔用于供控温热电偶穿过。

在一实施例中，支撑板形成有由支撑板的下表面向上凹入的收容空间，收容空间用于填充保温材料。

本公开还提供了一种退火炉，其包括炉子、温度调节装置和上述的固定装置。

本公开的有益效果如下：本公开的固定装置将控温热电偶固定在炉子上，有效地防止了控温热电偶相对炉子晃动，提高了温度调节装置调节退火炉的温度的稳定性和准确性；此外，固定装置还能够沿控温热电偶的延伸方向进行移动，使得操作者能够根据晶片退火过程中的温度变化的需求来调节控温热电偶插入炉子内的深度，进而使得温度控制装置根据控温热电偶的深度变化及时调整炉子内的温度，满足晶片退火过程中不同时间段的温度需求。

附图说明