[实用新型]浸没冷却散热器及浸没冷却散热系统有效
申请号: | 202022134016.5 | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN212587492U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 高雪峰;王睿;陈诗翰;高志强;吴菲菲 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L23/44 | 分类号: | H01L23/44;H01L23/427;H01L21/48 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 浸没 冷却 散热器 散热 系统 | ||
1.一种浸没冷却散热器,其特征在于包括沸腾换热单元以及装配单元,所述沸腾换热单元包括相背对设置的第一面和第二面,所述第一面分布有由多个相对凸起部和/或多个相对凹下部组成的微结构,所述第一面至少用以与电绝缘性的浸没冷却介质接触,所述第二面为光滑面,所述装配单元至少用于将沸腾换热单元的第二面与发热元件导热连接,或者,所述第二面与发热元件一体设置。
2.根据权利要求1所述的浸没冷却散热器,其特征在于:所述相对凸起部包括微柱,所述相对凹下部包括微槽,多个微槽和/或多个微柱在所述第一面离散分布或紧密排列;和/或,所述沸腾换热单元第二面的平面度小于0.03mm;和/或,所述沸腾换热单元的基材包括高导热金属平板或高导热平板热管。
3.根据权利要求2所述的浸没冷却散热器,其特征在于:所述微槽的宽度为50μm~600μm、深度为0.15mm~20mm,相邻微槽的间距为50μm~600μm;和/或,所述微柱的直径为50μm~600μm、高度为0.15mm~20mm,相邻微柱的间距为50μm~600μm;和/或,所述微槽的槽壁为实心结构,或者,所述微槽的槽壁表面和/或内部具有多孔结构;和/或,所述微柱的柱体为实心结构,或者,所述微柱的柱体表面和/或内部具有多孔结构。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的浸没冷却散热器,其特征在于:所述微结构上还形成有微纳结构,所述微纳结构包括纳米森林、微纳突起、微纳孔结构中的任意一种或多种的组合。
5.根据权利要求4所述的浸没冷却散热器,其特征在于:所述纳米森林包括多个针、锥、线、棒中的任意一种或多种的组合,且所述针、锥、线、棒中任一者的直径为50~3000nm,高度为0.2~30μm;和/或,所述微纳突起包括多个锥、柱、片中的任意一种或多种的组合,且所述锥、柱、片中任一者的特征长度为0.05~30μm;和/或,所述微纳孔包括多个孔洞,其中各孔洞彼此独立或者相互连通,所述孔洞的深度为0.1~12μm、孔径为0.1~12μm;和/或,所述微纳结构形成在所述相对凸起部和/或相对凹下部的表面。
6.如权利要求1所述的浸没冷却散热器,其特征在于:所述沸腾换热单元的第二面能够与发热元件紧密贴合。
7.如权利要求1所述的浸没冷却散热器,其特征在于:所述装配单元与沸腾换热单元固定连接,或者,所述装配单元与沸腾换热单元一体设置。
8.如权利要求7所述的浸没冷却散热器,其特征在于:所述装配单元包括形成在沸腾换热单元上的一个或多个螺孔。
9.如权利要求1或7所述的浸没冷却散热器,其特征在于:所述装配单元具有外框或是无框结构的。
10.一种浸没冷却散热系统,其特征在于包括:
权利要求1-9中任一项所述的浸没冷却散热器;以及
电绝缘性的浸没冷却介质,至少用于浸没所述浸没冷却散热器及与所述浸没冷却散热器结合的发热元件。
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