[实用新型]管路侦测装置

说明书

本实用新型提供一种管路侦测装置，涉及半导体设备技术领域，该管路侦测装置包括发射半环、接收半环和与接收半环电连接的分析控制器，发射半环和接收半环围设形成一环状结构，发射半环上设置有多个声波发射器，接收半环上设置有多个声波接收器，多个声波发射器与多个声波接收器一一对应设置。通过发射半环和接收半环围设形成圆环结构，并环设在管道外，在使用时可沿管道移动，利用多个声波发射器向管道内发射声波，再利用多个声波接收器接收声波，通过分析控制器对接收到的声波进行分析，当管道中有异物时与管道中没有异物时的声波信号不同，可根据异常声波信号判定堵塞位置，从而实现了快速准确地确定堵塞位置，避免了人力物力的浪费。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种管路侦测装置。

背景技术

在半导体制造领域，通常需要通过一些管路输送气体或液体，在处理一些压力流量相关的问题时，管路堵塞是检查的一个主要方向。

目前，业界针对管路堵塞点检测，主要有以下几种：

1.通过压力传感器判断，即在管路不同位置设置压力传感器实现压力监测，通过压力传感器的读数变化来判断并缩小堵塞范围。

2.通过流量进行判断，即在管路不同位置设置流量传感器实现流量监测，通过流量传感器的读数变化来判断并缩小堵塞范围。

经发明人研究发现，针对半导体设备，例如化学气相沉积(Chemical VaporDeposition，CVD)机台上的管道，通过安装压力传感器和流量传感器会影响管道的传输效率，并且有可能会造成污染，故针对CVD机台上的管道，目前采用的方式是将管路打开进行开放式检查确认堵塞点，费时费力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管路侦测装置，其能够在不影响管路传输的情况下对管路进行检测，快速确认管路中的异物或堵塞物的位置，节省人力物力。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供一种管路侦测装置，包括发射半环、接收半环和与所述接收半环电连接的分析控制器，所述发射半环和所述接收半环围设形成一用于环设在管道上的环状结构，所述发射半环上设置有多个声波发射器，用于向所述管道内发射声波，所述接收半环上设置有多个声波接收器，用于接收所述声波发射器发射的声波，多个所述声波发射器与多个所述声波接收器一一对应设置，所述分析控制器与所述声波接收器通信连接，用于分析所述声波接收器接收到的声波。

进一步地，所述管路侦测装置还包括相对设置的第一把手和第二把手，所述发射半环的一端与所述接收半环的一端活动连接，所述第一把手与所述发射半环的另一端连接，并向着远离所述环状结构的方向伸出，所述第二把手与所述接收半环的另一端连接，并向着远离所述环状结构的方向伸出。

进一步地，所述管路侦测装置还包括弹性连接件，所述弹性连接件的一端与所述发射半环远离所述第一把手的一端连接，所述弹性连接件的另一端与所述接收半环远离所述第二把手的一端连接。

进一步地，所述管路侦测装置还包括连接销轴，所述发射半环远离所述第一把手的一端设置有第一销孔，所述接收半环远离所述第一把手的一端设置有第二销孔，所述连接销轴可转动地装配在所述第一销孔和第二销孔中，以使所述发射半环和所述接收半环铰接。

进一步地，在所述发射半环靠近所述第一把手的端部和所述接收半环靠近所述第二把手的端部分别设置有定位槽和与所述定位槽装配连接的定位轴。

进一步地，在所述第一把手远离所述发射半环的端部设置有第一止挡块，所述第二把手远离所述接收半环的端部设置有第二止挡块，所述第一止挡块与所述第二止挡块相对设置，并用于相互抵持。

进一步地，每个所述声波发射器和对应的所述声波接收器沿所述环状结构的圆心呈中心对称设置，以使每个所述声波发射器沿所述环状结构的径向发射声波至所述声波接收器。