[实用新型]一种具备亮光定位对束功能的三轴传感器生产设备

权利要求书

1.一种具备亮光定位对束功能的三轴传感器生产设备，包括传送带（1）、吸盘夹具（2）、胶头角度调整机构（9）、定位曝光机构（10）和任意角度载体机构（28），其特征在于：所述传送带（1）顶端一侧设置有吸盘夹具（2），且传送带（1）顶端一侧设置有溅镀机构（3），所述溅镀机构（3）底端设置有底座（4），且底座（4）顶端一侧设置有惰性气体离子发生器（5），所述底座（4）顶端一侧设置有移动架（6），且移动架（6）一侧设置有感光剂料盒（7），所述移动架（6）中端开设有浮动平台（8），且浮动平台（8）一侧设置有胶头角度调整机构（9），所述传送带（1）顶端一侧设置有定位曝光机构（10），且定位曝光机构（10）一侧设置有支架（11），所述支架（11）顶端一侧设置有电机（12），且支架（11）一侧开设有纵向滑轨（13），所述纵向滑轨（13）一侧设置有移动座（14），且移动座（14）一侧设置有刻度架（15），所述刻度架（15）顶端固定有筋板（16），且刻度架（15）底端设置有楔块（17），所述楔块（17）底端开设有横向滑轨（18），且横向滑轨（18）一侧设置有定位机构（19），所述横向滑轨（18）一侧设置有连接座（20），且连接座（20）一侧设置有伸缩杆（21），所述伸缩杆（21）一侧设置有指示构件（22），且伸缩杆（21）底端设置有耳轴（23），所述耳轴（23）底端连接有激光笔（24），且耳轴（23）一侧连接有从动曲柄（25），所述从动曲柄（25）远离耳轴（23）一侧设置有滑块（26），所述定位曝光机构（10）一侧设置有机械臂（27），且机械臂（27）远离定位曝光机构（10）一侧设置有任意角度载体机构（28），所述任意角度载体机构（28）底端设置有支座（29），且支座（29）顶端开设有第一驱动齿轮（30），所述支座（29）顶端开设有第二驱动齿轮（31），且支座（29）顶端开设有第三驱动齿轮（32），所述支座（29）中端开设有转轴（33），且转轴（33）顶端开设有从动齿轮（34），所述从动齿轮（34）一侧固定有传动臂（35），且传动臂（35）远离从动齿轮（34）一侧连接有摇臂（36），所述摇臂（36）顶端设置有工作台（37），且工作台（37）四周开设有密封圈（38），所述工作台（37）两侧设置有连杆夹紧机构（39），且连杆夹紧机构（39）底端设置有气缸（40），所述气缸（40）一侧设置有驱动杆（41），且驱动杆（41）一侧设置有曲柄（42），所述曲柄（42）底端连接有操作杆（43），且操作杆（43）底端固定有枢纽（44），所述曲柄（42）顶端设置有压板（45），且压板（45）底端一侧设置有固定翼（46）。

2.根据权利要求1所述的一种具备亮光定位对束功能的三轴传感器生产设备，其特征在于：所述吸盘夹具（2）底端设置有吸附面（201），且吸附面（201）中端开设有主吸气孔（202），所述吸附面（201）表端开设有吸气槽（203），且吸气槽（203）顶端一侧开设有缓冲槽（204），所述缓冲槽（204）中端开设有辅助吸气孔（205），且缓冲槽（204）顶端开设有引流槽（206），所述引流槽（206）中端开设有引流口（207），且引流槽（206）一侧设置有挡板（208）。

3.根据权利要求2所述的一种具备亮光定位对束功能的三轴传感器生产设备，其特征在于：所述吸附面（201）四周开设有挡板（208），且挡板（208）高度大于吸附面（201）高度，所述吸气槽（203）位于吸附面（201）表端呈螺旋分布，且吸气槽（203）通过中端开设的通槽与缓冲槽（204）相连接，所述主吸气孔（202）与辅助吸气孔（205）间距小于单晶体硅圆盘物料直径，所述缓冲槽（204）横截面为弧形。

4.根据权利要求1所述的一种具备亮光定位对束功能的三轴传感器生产设备，其特征在于：所述胶头角度调整机构（9）底端设置有背板（901），且背板（901）一侧开设有限位销（902），所述两侧限位销（902）中端设置有冲杆（903），且冲杆（903）一侧设置有胶头（904），所述冲杆（903）远离胶头（904）一侧设置有翼板（905），且翼板（905）底端设置有滑槽（906），所述滑槽（906）一侧设置有固定块（907），且滑槽（906）一侧设置有凸轮轴承（908），所述冲杆（903）底端开设有调节螺栓（909），且调节螺栓（909）底端一侧设置有调节滑块（910），所述冲杆（903）一侧设置有刻度尺（911）。