[实用新型]一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置

权利要求书

1.一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，包括一个金属外壳(1)，所述金属外壳(1)的顶部有一顶部开口(10)，底部有一开口朝向顶部的凹形底部固定筒(7)，凹形底部固定筒(7)的开口处设置有圆环状的压环(6)；所述金属外壳(1)的内部由顶部开口(10)一侧向内依次设置有引出电极(2)、栅网(4)、收集极(9)，以及将引出电极(2)、栅网(4)、收集极(9)隔开并固定的多片绝缘限位板(3)，所述多片绝缘限位板(3)之间形成腔体。

2.根据权利要求1所述的一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，所述底部固定筒(7)为外侧带螺纹的圆筒状结构，通过螺纹拧紧固定到金属外壳(1)上；所述底部固定筒(7)的底部一侧的中心位置有通孔(11)，所述通孔(11)突出至金属外壳(1)外部。

3.根据权利要求1所述的一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，所述引出电极(2)的中心位置有一个锥形开口(12)，顶部开口(10)与引出电极(2)形成等离子体扩散区，在引出电极(2)中心的锥形开口(12)形成离子流发射面。

4.根据权利要求1所述的一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，所述金属外壳(1)的顶部开口(10)的内侧剖面为阶梯状结构，引出电极(2)和金属外壳(1)的顶部开口(10)之间设置有一片绝缘限位板(3)。

5.根据权利要求1所述的一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，所述多片绝缘限位板(3)的剖面为阶梯状结构；多片绝缘限位板(3)均打有四个通孔，对应的通孔之间对齐，通孔内固定有固定螺钉(8)，多片绝缘限位板(3)通过固定螺钉(8)固定为一个整体。

6.根据权利要求1所述的一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，所述收集极(9)的外侧两端设置有馈电螺钉(5)。

7.根据权利要求1所述的一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，所述金属外壳(1)的形状呈圆筒状。

8.根据权利要求1所述的一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，所述顶部开口(10)的形状为正方形。

9.根据权利要求1所述的一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，所述栅网(4)的个数为三个。