[实用新型]一种传输装置镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202022115404.9 申请日: 2020-09-23
公开(公告)号: CN213388893U 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 孙劲松;孔凡涛;陆再超 申请(专利权)人: 无锡吉易特半导体科技有限公司
主分类号: C23C16/54 分类号: C23C16/54;C23C16/50;C23C16/26;C23C16/458;C23C16/56;C23C16/52
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地址: 214194 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 传输 装置 镀膜 设备
【权利要求书】:

1.一种传输装置镀膜设备,包括碳膜沉积反应腔;其特征在于,还包括工作台、镀膜腔室和缓冷腔室;所述镀膜腔室和缓冷腔固定在工作台,且镀膜腔室的一侧与缓冷腔室的一侧连通;所述镀膜腔室的另一侧壁开设进料口,进料口处设有一号传送带,且一号传送带一端位于进料口处,一号传送带的另一端从而碳膜沉积反应腔的进口伸入碳膜沉积反应腔内,碳膜沉积反应腔的出口处设有镀膜单元;所述镀膜单元包括镀膜槽和打捞板;所述镀膜槽的一侧位于碳膜沉积反应腔的出口处,镀膜槽内侧壁上铰接打捞板,且打捞板的中心位置与外界的电机输出轴连接,镀膜槽的另一侧下方设有二号传送带,且二号传送带位于镀膜腔室和缓冷腔室之间;所述缓冷腔室用于减缓物料的冷却速度。

2.根据权利要求1所述的一种传输装置镀膜设备,其特征在于,所述镀膜腔室的上端面设有储料桶,储料桶内承装有镀膜原料,储料桶的下端设有导管,导管一端与储料桶连通,导管的另一端位于镀膜槽的一侧上方,且导管上设有流量调节阀。

3.根据权利要求1所述的一种传输装置镀膜设备,其特征在于,所述打捞板由聚氯乙烯塑料材质制成,打捞板上均匀开设多个通孔,打捞板的端部设有辅助板;所述辅助板呈圆弧状,辅助板的端部为尖端,且辅助板由橡胶材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种传输装置镀膜设备,其特征在于,所述缓冷腔室内设有加热电阻丝、翻转板和三号传送带;所述缓冷腔室的侧壁上设有一层保温棉,保温棉上安置加热电阻丝,加热电阻丝的下方为二号传送带、翻转板和三号传送带;所述翻转板位于二号传送带端部的下方,翻转板的中心位置连接外界电机的输出轴端部,翻转板一侧的下方为三号传送带的一端,三号传送带的另一端位于缓冷腔室的出口处。

5.根据权利要求4所述的一种传输装置镀膜设备,其特征在于,所述翻转板的横截面呈中间内凹,两侧凸起的形状,且翻转板呈镂空状。

6.根据权利要求1所述的一种传输装置镀膜设备,其特征在于,所述缓冷腔室的出口处设有预存箱;所述预存箱滑动连接在缓冷腔室的出口内,且预存箱的内侧壁包裹一侧保温棉。

7.根据权利要求4所述的一种传输装置镀膜设备,其特征在于,所述二号传送带和三号传送带的表面均匀设有凸台。

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