[实用新型]一种自动检测薄膜厚度的匀胶机

说明书

本实用新型公开了一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，涉及匀胶机技术领域。包括底座、匀胶机本体、升降机构和测厚仪，所述底座上表面固定安装有匀胶机本体，所述底座的上表面滑动连接有升降机构，所述升降机构的内侧滑动连接有测厚仪，所述测厚仪位于匀胶机本体的上方。通过设置升降机构，利用电机通过两个丝杆带动螺母座进行相向运动，促使两个连接杆带动测厚仪本体逐渐靠近位于匀胶机本体上的胶体薄膜，使得测厚仪可近距离的对胶体薄膜进行检测，相较于现有的人工检测的方式而言，本方案通过采用机械化检测，使得检测的精度以及准度均显著提高，使得该匀胶机具备自动检测的优点，以解决手动检测的问题。

技术领域

本实用新型涉及匀胶机技术领域，具体为一种自动检测薄膜厚度的匀胶机。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，主要应用领域为半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺，现在实验室用匀胶机的工作参数主要是匀胶速率、匀胶时间等，其匀胶速率主要目的是控制薄膜的均匀程度，匀胶时间主要目的是控制薄膜的厚度，但实验表明，薄膜的厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

现有技术中，常规的薄膜厚度检测方式大多采用检测人员将薄膜取下然后手动进行检测，但是这种方式费时费力，并且在转运过程中容易使得薄膜受到一定损坏。

实用新型内容

本实用新型提供了一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，具备自动检测的优点，以解决手动检测的问题。

为实现自动检测的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，包括底座、匀胶机本体、升降机构和测厚仪，所述底座上表面固定安装有匀胶机本体，所述底座的上表面滑动连接有升降机构，所述升降机构的内侧滑动连接有测厚仪，所述测厚仪位于匀胶机本体的上方；

所述升降机构包括支架，所述支架的内部开设有驱动腔，所述驱动腔的内壁固定安装有电机，所述电机的输出轴固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆的另一端固定连接有第二丝杆，所述第二丝杆的另一端与驱动腔的内壁转动连接，所述第一丝杆和第二丝杆的外侧均螺纹连接有螺母座，所述螺母座的底端铰接有连接杆，两个连接杆的底端均与测厚仪的顶部铰接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一丝杆和第二丝杆的螺纹走向相反，两个所述螺母座的运动方向相反。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支架的内侧开设有两个滑槽，所述测厚仪的两侧均固定连接有滑轮，所述滑轮的另一端延伸至滑槽的内部并与滑槽的内壁滑动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述测厚仪的顶部固定安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的顶端与支架内侧的顶部搭接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座的上表面固定连接有滑杆，所述支架与滑杆滑动连接，所述支架的底端固定连接有定位弹簧杆，所述底座的表面开设有定位槽，所述定位弹簧杆的底端延伸至定位槽的内部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，具备以下有益效果：

1、该自动检测薄膜厚度的匀胶机，通过设置升降机构，利用电机通过两个丝杆带动螺母座进行相向运动，促使两个连接杆带动测厚仪本体逐渐靠近位于匀胶机本体上的胶体薄膜，使得测厚仪可近距离的对胶体薄膜进行检测，相较于现有的人工检测的方式而言，本方案通过采用机械化检测，使得检测的精度以及准度均显著提高，使得该匀胶机具备自动检测的优点，以解决手动检测的问题。

2、该自动检测薄膜厚度的匀胶机，通过设置滑杆、定位弹簧杆和定位槽，通过拉动位于滑杆外侧的升降机构，使得升降机构可远离匀胶机本体上方，从而方便了工作人员拿取位于匀胶机本体上的胶体薄膜，从而方便了工作人员对匀胶机本体进行操作，从而提高了工作效率。

附图说明