[实用新型]一种快速清洗的真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种快速清洗的真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域，包括主箱体，所述主箱体的顶端安装有真空泵，所述主箱体的一侧连接有第一连接轴，所述第一连接轴的一侧连接有第一副箱的正面设置有第一密封圈，所述第一副箱的正面设置有正极磁铁，所述第一副箱的内部连接有固定杆。本实用新型通过设置正极磁铁、负极磁铁、第一密封圈与第二密封圈，先将第一副箱内部的挂钩放入上镀件，通过人工推动第一副箱，将第一副箱与主箱体进行闭合，通过正极磁铁与负极磁铁进行固定，通过第一密封圈与第二密封圈将第一副箱与主箱体进行密封，减少第一副箱与主箱体之间的摩擦力，防止外界灰尘进入，增加第一副箱与主箱体之间的密封性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种快速清洗的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备主要指在较高真空度下进行镀膜的设备，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，

现有的真空镀膜设备在使用一段时间后，主箱体的内壁必须要进行清洗处理，由于真空镀膜设备缺少清洗装置，使得真空镀膜设备在使用后，其内壁会附着一部分电镀液，影响真空镀膜设备的再次使用，主箱体与副箱体之不能进行很好的固定与对主箱体与副箱体进行很好的密封，从而影响主箱体内部进行镀膜效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决不能对真空镀膜设备进行有效的清洁，不能对主箱体与副箱体进行有效的固定与密封时的问题，提供一种快速清洗的真空镀膜设备。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种快速清洗的真空镀膜设备，包括主箱体，所述主箱体的顶端安装有真空泵，所述主箱体的一侧连接有第一连接轴，所述第一连接轴的一侧连接有第一副箱的正面设置有第一密封圈，所述第一副箱的正面设置有正极磁铁，所述第一副箱的内部连接有固定杆，所述固定杆的两侧连接有多组挂钩，所述主箱体的另一侧连接有第二连接轴，所述第二连接轴的一侧连接有第二副箱，所述第二副箱的底端连接有移动轮，所述主箱体的正面设置有第二密封圈，所述主箱体的正面设置有负极磁铁，所述主箱体的底端安装有弹簧，所述主箱体的下方设置有底座，所述主箱体的一侧连接有水箱，所述水箱的顶端安装有第二水泵，所述第二水泵的输出端连接有铜管，所述铜管的底端设置有高压喷头，所述主箱体的内壁安装有烘干灯，所述主箱体的一侧设置有废水收集箱，所述废水收集箱的一侧安装有第一水泵。

优选地，所述挂钩设置有五组，五组所述挂钩等距离分布在固定杆的外壁，所述固定杆设置有两组，两组所述固定杆以主箱体的竖向中轴线对称设置。

优选地，所述移动轮的内壁设置有凹槽，所述底座的顶端安装有滑槽，所述移动轮通过滑槽与底座滑动连接。

优选地，所述烘干灯设置有三组，三组所述移动轮以主箱体的竖向中轴线对称设置。

优选地，所述第一密封圈和正极磁铁设置有两组，两组所述第一密封圈和正极磁铁以主箱体的竖向中轴线对称设置。

优选地，所述移动轮设置有两组，两组所述移动轮以主箱体的竖向中轴线对称设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置正极磁铁、负极磁铁、第一密封圈与第二密封圈，先将第一副箱内部的挂钩放入上镀件，通过人工推动第一副箱，将第一副箱与主箱体进行闭合，通过正极磁铁与负极磁铁进行固定，通过第一密封圈与第二密封圈将第一副箱与主箱体进行密封，减少第一副箱与主箱体之间的摩擦力，防止外界灰尘进入，增加第一副箱与主箱体之间的密封性；