[实用新型]夹持装置有效
| 申请号： | 202022086731.6 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN213647262U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘火阳;宋向荣;阮永权;刘建忠 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹持 装置 | ||
1.一种夹持装置(100)，用于将晶棒(200)固定于工作台(300)上，其特征在于，所述夹持装置(100)包括夹持件(2)；
所述夹持件(2)包括安装部(21)和夹持部(22)；所述安装部(21)用于固定于所述工作台(300)，所述夹持部(22)连接于所述安装部(21)，并且用于从所述晶棒(200)的外周夹持所述晶棒(200)的侧面(200b)。
2.根据权利要求1所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述夹持件(2)在数量上以一个设置，一个所述夹持件(2)的夹持部(22)的内表面(221)为圆弧面，所述夹持部(22)的内表面(221)配置为沿所述晶棒(200)的周向(C)至少包围所述晶棒(200)的侧面(200b)的一半。
3.根据权利要求1所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述夹持件(2)在数量上以两个设置，两个所述夹持件(2)配置为位于所述晶棒(200)的相对两侧，两个所述夹持件(2)的夹持部(22)用于从所述晶棒(200)相对的两侧夹持所述晶棒(200)的侧面(200b)。
4.根据权利要求1所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述夹持件(2)在数量上以三个以上设置，三个以上所述夹持件(2)配置为沿所述晶棒(200)的周向(C)围绕晶棒(200)间隔设置。
5.根据权利要求3或4所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述夹持件(2)的夹持部(22)的内表面(221)为圆弧面，用于与晶棒(200)的形状配合。
6.根据权利要求1所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述夹持部(22)上开设有螺纹孔(222)，所述螺纹孔(222)贯穿所述夹持部(22)，且所述夹持部(22)配置为通过紧固件(F)穿过所述螺纹孔(222)抵接于所述晶棒(200)的侧面(200b)来夹持所述晶棒(200)。
7.根据权利要求1所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述安装部(21)可拆卸地固定于所述工作台(300)上。
8.根据权利要求7所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述安装部(21)上设置有铁磁件(23)，所述安装部(21)配置为通过所述铁磁件(23)与所述工作台(300)的电磁铁相连固定于所述工作台(300)上。
9.根据权利要求8所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述安装部(21)的底面上开设有凹槽(212)，所述铁磁件(23)收容于所述凹槽(212)内。
10.根据权利要求1-4中任一项所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述夹持装置(100)还包括支撑座(1)，所述支撑座(1)用于从所述晶棒(200)的底面支撑所述晶棒(200)。
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