[实用新型]柔性OLED薄膜吸附装置

权利要求书

1.一种柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：包括长条状本体及抽真空装置，所述本体的一侧面设有吸附部，所述本体的另一侧面设有抽气孔，所述吸附部包括若干吸附孔，所述吸附孔沿所述本体的长度方向均匀设置，所述本体包括互相密封扣合的上盖及下盖，所述上盖及下盖之间形成有吸附腔，所述抽气孔及吸附孔分别与所述吸附腔连通。

2.如权利要求1所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：所述吸附腔包括沿本体宽度方向并排设置的第一吸附腔及第二吸附腔，部分吸附孔与第一吸附腔连通，其余吸附孔与第二吸附腔连通，与第一吸附腔及第二吸附腔连通的两组吸附孔沿所述本体的长度方向间隔设置。

3.如权利要求2所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：所述吸附孔设于所述上盖的侧面，所述抽气孔设于所述下盖的底面，抽气方向与吸附方向垂直。

4.如权利要求1所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：所述吸附部还包括设于所述吸附孔开口处的长圆形吸附槽，所述吸附孔位于所述吸附槽底部。

5.如权利要求2所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：所述上盖及下盖之间设有将所述吸附腔密封的密封件，所述密封件包括用于密封第一吸附腔的第一密封件及用于密封第二吸附腔的第二密封件。

6.如权利要求5所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：所述下盖上开设有固定所述密封件的凹槽，所述密封件为O型圈。

7.如权利要求5所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：所述下盖包括与上盖扣合的扣合部及安装部，所述吸附腔设于所述上盖及扣合部之间，所述安装部用于将所述本体安装于外部设备上。

8.如权利要求1所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：所述上盖与下盖通过螺栓固定安装，所述上盖的材质为聚醚醚酮，所述下盖的材质为不锈钢。

9.如权利要求1所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：所述上盖的数量为两个，两个上盖沿长度方向设置，所述吸附腔、吸附部及抽气孔对应设为两组。

10.如权利要求1所述的柔性OLED薄膜吸附装置，其特征在于：每个吸附腔对应连通的吸附孔为10-20个，每个吸附腔对应连通的抽气孔为1个。