[实用新型]一种用于长晶设备的水循环冷却装置

说明书

本实用新型涉及一种用于长晶设备的水循环冷却装置，所述长晶设备包括长晶腔，其内安装有长晶平台，长晶平台为圆形，其外套装有圆环；其特征在于，所述水循环冷却装置包括不锈钢圆桶，圆桶固定安装在长晶腔内，所述长晶平台的下表面上设置有圆槽，圆槽与长晶平台同心，所述圆桶上端伸入圆槽内，与之嵌合并支撑长晶平台，所述水循环冷却装置还包括不锈钢进水管、不锈钢出水管，进水管、出水管分别穿过长晶腔伸入长晶腔内，并分别穿过圆桶的下表面伸入圆桶内，进水管伸入圆桶底部，出水管伸入圆桶顶部；所述进水管、出水管分别通过管道连接外置水箱，且在与进水管相连的管道上安装有水泵；冷却效果好。

技术领域

本实用新型涉及一种长晶设备，具体涉及一种用于长晶设备的水循环冷却装置。

背景技术

长晶过程可以概括为在密闭的空间内制造出真空状态通入所需的气体使用微波系统产生微波经过共振腔于被加工物表面生产晶体；其往往会伴随产生高温，而高温环境会抑制长晶流程的进行。

发明内容

本实用新型提出一种用于长晶设备的水循环冷却装置。

本实用新型的技术方案：

一种用于长晶设备的水循环冷却装置，所述长晶设备包括长晶腔，长晶腔内安装有长晶平台，长晶平台为圆形，其外套装有圆环；所述水循环冷却装置包括不锈钢圆桶，圆桶固定安装在长晶腔内，所述长晶平台的下表面上设置有圆槽，圆槽与长晶平台同心，所述圆桶上端伸入圆槽内，与之嵌合并支撑长晶平台，所述水循环冷却装置还包括不锈钢进水管、不锈钢出水管，进水管、出水管分别穿过长晶腔伸入长晶腔内，并分别穿过圆桶的下表面伸入圆桶内，进水管伸入圆桶底部，出水管伸入圆桶顶部；

所述进水管、出水管分别通过管道连接外置水箱，且在与进水管相连的管道上安装有水泵。

启动水泵，冷却水经由进水管注入圆桶内，再由出水管流出，循环流动，并通过圆桶与长晶平台接触进行热交换，达到直接对长晶平台进行冷却的目的，同时又圆桶外周面通过通过空气与长晶平台以及圆环间距接触，更有利于长晶平台以及圆环的热量散发；尤其本申请采用圆桶，并且圆桶与长晶平台、圆环同心，这样，由内至外，整体长晶平台、圆环温度均匀，满足长晶温度需求；在设计圆桶作为冷却装置时，一般会在圆桶内设置若干挡水板，形成水道，来增加冷却水与圆桶的接触面积，以便到达最佳的冷却效果，但在本申请中，水道内部结构过于复杂焊接难度大焊接易变形废品率高，水道挡板过多进水速度慢、出水速度慢影响降温效果；为此，本申请省去了圆桶内部结构设计，将进水管伸入圆桶底部，出水管伸入圆桶顶部，这样，冷却水由圆桶下部注入，再由圆桶上部流出，圆桶内水满，最大限度的提高冷却水与圆桶的接触面接，保证圆桶冷却效果，且冷却水流稳定；易与加工，节约成本，进出水阻碍减少速度提升，降温效果加强。

在所述进水管与出水管外侧设置有支撑罩，支撑罩固定在长晶腔底部，上端固定连接有第一安装块，所述第一安装块上固定连接第二安装块，第一安装块、第二安装块均为圆形，且同心，所述第一安装块、第二安装块上均设置有圆孔，圆孔分别与第一安装块、第二安装块同心，共同构成供进水管、出水管通过的通道，所述圆桶下端置于第二安装块上的圆孔内，并与第二安装块螺纹连接。

所述长晶腔内还设置有散热罩，散热罩为圆筒状，其套在圆桶、第一安装块、第二安装块以及支撑罩外侧，与第一安装块螺纹连接，所述圆环的下表面上设置有环槽，环槽与圆环同心，所述散热罩的上端伸入环槽内，与之嵌合并支撑圆环；所述散热罩与第二安装块之间留有间隙；所述散热罩上均匀分布设置有若干散热孔；散热罩的设计有益于热量的散热，同时其在本申请中还起到与之嵌合并支撑圆环的作用；优选，在所述第一安装块与第二安装块之间设置有环形垫片。

散热孔分成上下两排；所述散热罩外侧套有夹套，夹套与散热罩固定连接，并罩在上排散热孔上，所述夹套上下两端面上均匀分布设置有若干圆孔；优选，所述夹套与散热罩焊接成一体。

所述散热罩外侧还套有环板，环板位于散热孔上方，上端与散热罩固定连接，下端开；优选，所述环板与散热罩焊接成一体。