[实用新型]一种可测量硅芯直径的硅芯炉有效
| 申请号: | 202022043083.6 | 申请日: | 2020-09-17 |
| 公开(公告)号: | CN211872149U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
| 发明(设计)人: | 金胜;薛建云;施红亮;邱风 | 申请(专利权)人: | 新疆登博新能源有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06;G01B5/08 |
| 代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址: | 830000 新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州昌吉市高新*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 可测量 直径 硅芯炉 | ||
本实用新型公开了一种可测量硅芯直径的硅芯炉,包括炉体,所述炉体的端壁设有若干个硅芯出料口,若干个所述硅芯出料口呈圆周排布,所述炉体的端壁且位于若干个所述硅芯出料口之间设有箱体,所述箱体的内表面中间位置固定安装有座体,所述座体的侧壁设有若干个与硅芯出料口相对应的压力传感器,所述压力传感器与外设的计算机电性连接,所述箱体的侧壁贯穿有若干个与压力传感器相对应的滑孔,所述滑孔内滑动连接有压杆,本实用新型可在生产过程中,测量出某段硅芯棒的直径变化,当其中有的位置不符合标准时,可对炉体内的生产装置调节,生产出符合标准的硅芯棒,防止对硅芯棒切割后得到的硅芯品质出现问题。
技术领域
本实用新型涉及硅芯测量技术领域,具体领域为一种可测量硅芯直径的硅芯炉。
背景技术
硅芯是光伏行业上游中的改良西门子法还原炉所用的晶种,主要用于高纯原生多晶硅的生产。目前,硅芯的制备方式主要有硅芯炉生长法和晶体直拉生产法。其中,硅芯炉是最早生产硅芯的专用设备,在惰性气氛下,将原生多晶硅棒局部熔化后,将带有籽晶的籽晶轴插入到熔化的原生多晶硅料中,逐步提升籽晶轴,进行引晶,待达到设定的直径后,连带熔化的原生多晶硅料上升,熔化的多晶硅料拉晶上升时温度降低并长晶形成硅芯棒。晶体直拉法使用直拉单晶炉进行生产,首先拉制出多晶硅/单晶硅芯棒,再通过线锯将芯棒切成目标尺寸的硅芯。
目前,在利用硅芯炉制备硅芯过程中,由于无法测量其直径,从而在生产过程中,很难发现硅芯棒的直径不符合标准,从而影响后序硅芯的品质。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可测量硅芯直径的硅芯炉,以解决上述背景技术中提出在利用硅芯炉制备硅芯过程中,由于无法测量其直径,从而在生产过程中,很难发现硅芯棒的直径不符合标准,从而影响后序硅芯品质的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种可测量硅芯直径的硅芯炉,包括炉体,所述炉体的端壁设有若干个硅芯出料口,若干个所述硅芯出料口呈圆周排布,所述炉体的端壁且位于若干个所述硅芯出料口之间设有箱体,所述箱体的内表面中间位置固定安装有座体,所述座体的侧壁设有若干个与硅芯出料口相对应的压力传感器,所述压力传感器与外设的计算机电性连接,所述箱体的侧壁贯穿有若干个与压力传感器相对应的滑孔,所述滑孔内滑动连接有压杆,所述压杆位于箱体内部的一端连接有减缓对压力传感器冲击的缓冲杆件,所述压杆位于箱体外部的一端固定连接有第一限位槽体,所述炉体的端壁上且靠近硅芯出料口的位置设有调节组件,所述调节组件的调节端上铰接有第二限位槽体,硅芯从第一限位槽体与第二限位槽体之间穿过,所述压杆上套接有主弹簧,所述主弹簧的一端固定安装在第一限位槽体上,所述主弹簧的另一端固定安装在箱体的外侧壁上。
优选的,所述缓冲杆件包括缓冲杆和副弹簧,所述压杆位于箱体内部的一端设有缓冲腔,所述副弹簧设置在缓冲腔内,所述缓冲杆的一端滑动连接在缓冲腔内且贴合在副弹簧的一端,所述缓冲杆的另一端与压力传感器相对设置。
优选的,所述调节组件包括调节座体和螺纹杆,所述调节座体设置在炉体的端壁上,所述调节座体的侧壁设有螺纹孔,所述螺纹杆螺纹连接在螺纹孔内,所述螺纹杆靠近硅芯出料口的一端与第二限位槽体的外侧壁铰接连接。
优选的,所述螺纹杆的另一端固定连接有柄体。
优选的,所述第一限位槽体与第二限位槽体均呈半圆环形状。
优选的,所述第一限位槽体与第二限位槽体组合后的圆心与硅芯出料口的圆心重合。
优选的,所述箱体的外表面设有开口,所述开口镶嵌有玻璃窗。
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