[实用新型]一种磁控溅射设备的换样片装置

权利要求书

1.一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)的内侧壁固定连接第一伸缩杆(2)，所述第一伸缩杆(2)的一端固定连接有移动板(3)，所述移动板(3)的一侧固定连接有压力板(4)，所述设备主体(1)的正面活动连接有拉门(5)，所述拉门(5)的一侧固定连接有支架(6)，所述支架(6)的一端固定连接有放置架(7)，所述放置架(7)的一侧活动连接有样片主体(8)，所述样片主体(8)的一侧活动连接有卡板(9)，所述卡板(9)的一侧固定连接有第一弹簧(10)，所述第一弹簧(10)的一侧固定连接有第一固定板(11)，所述设备主体(1)的内顶壁固定连接有第一固定杆(12)，所述第一固定杆(12)的一侧活动连接有第二固定杆(13)，所述第二固定杆(13)的内部活动连接有限位杆(14)，所述限位杆(14)的一侧固定连接有第二弹簧(15)。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备的换样片装置，其特征在于：所述第二弹簧(15)的一侧固定连接有弹簧套(16)，所述弹簧套(16)与设备主体(1)的内顶壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备的换样片装置，其特征在于：所述限位杆(14)的一端固定连接有第一把手(17)，所述限位杆(14)的另一端活动连接有限位块(18)。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备的换样片装置，其特征在于：所述移动板(3)的两端均活动连接有第一滑槽(19)，所述第一滑槽(19)与设备主体(1)的内顶壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备的换样片装置，其特征在于：所述卡板(9)的一端活动连接有第二滑槽(20)，所述第二滑槽(20)与放置架(7)的内侧壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备的换样片装置，其特征在于：所述第一弹簧(10)的内部固定连接有第二伸缩杆(21)，所述拉门(5)的正面固定连接有第二把手(22)。